DRAM(Dynamic Random Access Memory)の高集積化に関する研究

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著者

    • 田口, 眞男 タグチ, マサオ

書誌事項

タイトル

DRAM(Dynamic Random Access Memory)の高集積化に関する研究

著者名

田口, 眞男

著者別名

タグチ, マサオ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第2425号

学位授与年月日

1993-01-31

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 目次 / (0004.jp2)
  3. 第一章 序論 / p1 (0008.jp2)
  4. 1.1 本研究の背景 / p1 (0008.jp2)
  5. 1.2 高集積化の趨性 / p2 (0009.jp2)
  6. 1.3 電源電圧動向 / p7 (0014.jp2)
  7. 1.4 本章のまとめ / p8 (0015.jp2)
  8. 第二章 高集積化のためのメモリーセル構造 / p10 (0017.jp2)
  9. 2.1 イントロダクション / p10 (0017.jp2)
  10. 2.2 立体構造キャパシタの効果 / p13 (0020.jp2)
  11. 2.3 CCBセル / p15 (0022.jp2)
  12. 2.4 DIETセル / p19 (0026.jp2)
  13. 2.5 ポリサイド・ビット線構造 / p28 (0035.jp2)
  14. 2.6 フィン型スタックトキャパシタセル / p32 (0039.jp2)
  15. 2.7 本章のまとめ / p36 (0043.jp2)
  16. 第三章 ソフトエラー / p37 (0044.jp2)
  17. 3.1 イントロダクション / p37 (0044.jp2)
  18. 3.2 ソフトエラー発生のメカニズム / p38 (0045.jp2)
  19. 3.3 電荷収集量のセル構造依存(トレンチ対スタック) / p41 (0048.jp2)
  20. 3.4 ソフトエラー率の計算 / p45 (0052.jp2)
  21. 3.5 専用テストデバイスによる収集電荷量の測定 / p48 (0055.jp2)
  22. 3.6 本章のまとめ / p57 (0064.jp2)
  23. 第四章 キャパシタ誘電体膜 / p58 (0065.jp2)
  24. 4.1 イントロダクション / p58 (0065.jp2)
  25. 4.2 DRAMキャパシタ用の各種誘電体膜 / p59 (0066.jp2)
  26. 4.3 キャパシタのリーク電流と電荷保持特性の関係 / p66 (0073.jp2)
  27. 4.4 蓄積電荷量と電荷保持時間の評価 / p69 (0076.jp2)
  28. 4.5 本章のまとめ / p75 (0082.jp2)
  29. 第五章 64MビットDRAMのメモリセル設計 / p77 (0084.jp2)
  30. 5.1 イントロダクション / p77 (0084.jp2)
  31. 5.2 リングラフィ技術とパターン設計 / p78 (0085.jp2)
  32. 5.3 メモリーセルのレイアウトパターン / p80 (0087.jp2)
  33. 5.4 セル形状の設計論 / p82 (0089.jp2)
  34. 5.5 蓄積容量 / p85 (0092.jp2)
  35. 5.6 アイソレーション / p87 (0094.jp2)
  36. 5.7 本章のまとめ / p90 (0097.jp2)
  37. 第六章 64MビットDRAM / p92 (0099.jp2)
  38. 6.1 イントロダクション / p92 (0099.jp2)
  39. 6.2 チップアーキテクチヤ / p93 (0100.jp2)
  40. 6.3 回路設計 / p97 (0104.jp2)
  41. 6.4 64MビットDRAMチップ / p101 (0108.jp2)
  42. 6.5 本章のまとめ / p103 (0110.jp2)
  43. 第七章 結論 / p105 (0112.jp2)
  44. 7.1 本研究のまとめ / p105 (0112.jp2)
  45. 7.2 今後の展望 / p106 (0113.jp2)
  46. 7.4 結言 / p109 (0116.jp2)
  47. 謝辞 / p110 (0117.jp2)
  48. 引用文献 / p111 (0118.jp2)
  49. 本研究に関する発表 / p119 (0126.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000097090
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000097318
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000261404
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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