プラズマ化学気相成長法による多結晶及び非晶質Si-C薄膜の構造に関する研究

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著者

    • 竹下, 哲義 タケシタ, テツヨシ

書誌事項

タイトル

プラズマ化学気相成長法による多結晶及び非晶質Si-C薄膜の構造に関する研究

著者名

竹下, 哲義

著者別名

タケシタ, テツヨシ

学位授与大学

金沢大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第1128号

学位授与年月日

1992-09-30

注記・抄録

博士論文

取得学位: 博士(工学), 授与番号: 甲第1128号, 授与年月日: 平成4年9月30日, 授与大学: 金沢大学, 指導教員: 長谷川 誠一

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 はじめに / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 単結晶SiCの特徴と課題 / p1 (0005.jp2)
  5. 1.3 非晶質と微結晶SiCの特徴と課題 / p5 (0007.jp2)
  6. 1.4 多結晶SiCの特徴と課題 / p6 (0008.jp2)
  7. 1.5 研究の目的 / p7 (0008.jp2)
  8. 1.6 論文の構成 / p8 (0009.jp2)
  9. 参考文献 / p9 (0009.jp2)
  10. 第2章 Si-C薄膜の堆積 / p13 (0011.jp2)
  11. 2.1 はじめに / p13 (0011.jp2)
  12. 2.2 堆積条件と評価方法 / p13 (0011.jp2)
  13. 2.3 堆積速度 / p15 (0012.jp2)
  14. 2.4 プラズマ発光分析 / p19 (0014.jp2)
  15. 2.5 まとめ / p22 (0016.jp2)
  16. 参考文献 / p24 (0017.jp2)
  17. 第3章 Si-C薄膜の結晶構造と欠陥 / p25 (0017.jp2)
  18. 3.1 はじめに / p25 (0017.jp2)
  19. 3.2 実験方法 / p25 (0017.jp2)
  20. 3.3 XRD測定による結晶構造 / p27 (0018.jp2)
  21. 3.4 ESR測定 / p38 (0024.jp2)
  22. 3.5 まとめ / p41 (0025.jp2)
  23. 参考文献 / p43 (0026.jp2)
  24. 第4章 Si-C薄膜の結合構造 / p45 (0027.jp2)
  25. 4.1 Si-C系の結合構造モデル / p45 (0027.jp2)
  26. 4.2 実験方法 / p52 (0031.jp2)
  27. 4.3 XPSスペクトルと膜組成の決定 / p52 (0031.jp2)
  28. 4.4 結合エネルギーと半値幅 / p58 (0034.jp2)
  29. 4.5 まとめ / p64 (0037.jp2)
  30. 参考文献 / p66 (0038.jp2)
  31. 第5章 Si-C薄膜の光物性 / p68 (0039.jp2)
  32. 5.1 はじめに / p68 (0039.jp2)
  33. 5.2 実験方法 / p69 (0039.jp2)
  34. 5.3 近紫外光から近赤外光吸収法による結果と考察 / p70 (0040.jp2)
  35. 5.4 赤外吸収法による結果と考察 / p75 (0042.jp2)
  36. 5.5 ラマン散乱法による結果と考察 / p82 (0046.jp2)
  37. 5.6 まとめ / p97 (0053.jp2)
  38. 参考文献 / p100 (0055.jp2)
  39. 第6章 Si-C薄膜への不純物ドーピング / p105 (0057.jp2)
  40. 6.1 はじめに / p105 (0057.jp2)
  41. 6.2 実験方法 / p105 (0057.jp2)
  42. 6.3 抵抗率の変化 / p106 (0058.jp2)
  43. 6.4 格子定数の変化 / p109 (0059.jp2)
  44. 6.5 まとめ / p111 (0060.jp2)
  45. 参考文献 / p113 (0061.jp2)
  46. 第7章 結論 / p114 (0062.jp2)
  47. 謝辞 / p119 (0064.jp2)
  48. 研究関連論文一覧 / p120 (0065.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000097555
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000097784
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000261869
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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