シリコンダイアフラム型圧力センサーの研究

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著者

    • 平田, 雅規 ヒラタ, マサキ

書誌事項

タイトル

シリコンダイアフラム型圧力センサーの研究

著者名

平田, 雅規

著者別名

ヒラタ, マサキ

学位授与大学

東京大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第10332号

学位授与年月日

1991-09-18

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 本研究の動機と目的 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 本研究の背景 / p6 (0010.jp2)
  5. 1.3 本論文の構成と内容 / p13 (0017.jp2)
  6. 参考文献 / p15 (0019.jp2)
  7. 第2章 シリコンダイアフラム型圧力センサーの動作に対する理論的検討 / p16 (0020.jp2)
  8. 2.1 序 / p16 (0020.jp2)
  9. 2.2 ダイアフラムの応力解析と抵抗変化率の計算 / p27 (0031.jp2)
  10. 2.3 ダイアフラム端部の不完全固定の感度に及ぼす影響に関する有限要素法による検討 / p40 (0044.jp2)
  11. 2.4 結言 / p55 (0059.jp2)
  12. 参考文献 / p57 (0061.jp2)
  13. 第3章 ヒドラジン溶液を用いた電気化学エッチングの方法とエッチング自動停止メカニズムの考察 / p58 (0062.jp2)
  14. 3.1 序 / p58 (0062.jp2)
  15. 3.2 ヒドラジン溶液を用いた電気化学エッチングの方法 / p68 (0072.jp2)
  16. 3.3 エッチング自動停止のメカニズムについての考察 / p78 (0082.jp2)
  17. 3.4 ダイアプラム厚の計測方法の検討 / p83 (0087.jp2)
  18. 3.5 ダイアフラム膜厚分布の測定結果 / p90 (0094.jp2)
  19. 3.6 シリコンダイアフラム型圧力センサーの試作と感度分布 / p93 (0097.jp2)
  20. 3.7 結言 / p98 (0102.jp2)
  21. 参考文献 / p99 (0103.jp2)
  22. 第4章 圧力センサーデバイスの静電接着による実装方法の検討 / p101 (0105.jp2)
  23. 4.1 序 / p101 (0105.jp2)
  24. 4.2 オフセット電圧の発生原因 / p103 (0107.jp2)
  25. 4.3 圧力センサーのウェハー状態での静電接着方法の検討 / p106 (0110.jp2)
  26. 4.4 結言 / p125 (0129.jp2)
  27. 参考文献 / p126 (0130.jp2)
  28. 第5章 集積化圧力センサーの設計・試作と評価 / p127 (0131.jp2)
  29. 5.1 序 / p127 (0131.jp2)
  30. 5.2 集積化圧力センサーの現状 / p130 (0134.jp2)
  31. 5.3 MOS集積化圧力センサーの設計 / p138 (0142.jp2)
  32. 5.4 特性評価と考察 / p154 (0158.jp2)
  33. 5.5 結言 / p167 (0171.jp2)
  34. 参考文献 / p168 (0172.jp2)
  35. 第6章 結論 / p170 (0174.jp2)
  36. 謝辞 / p174 (0178.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000097976
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000098205
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000262290
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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