酸素イオン注入用大電流ECRイオン源に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
酸素イオン注入用大電流ECRイオン源に関する研究
- 著者名
-
鳥居, 康弘
- 著者別名
-
トリイ, ヤスヒロ
- 学位授与大学
-
東京大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
乙第10649号
- 学位授与年月日
-
1992-03-16
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
- 1.1 研究の背景 / p1 (0005.jp2)
- 1.2 研究の目的 / p2 (0006.jp2)
- 1.3 本論文の構成 / p6 (0008.jp2)
- 第2章 大電流酸素ECRイオン源の目標性能と研究課題 / p11 (0010.jp2)
- 2.1 はじめに / p11 (0010.jp2)
- 2.2 SIMOX基板形成に要求されるイオンビーム電流 / p11 (0010.jp2)
- 2.3 円筒空洞型ECRイオン源の基本構成 / p18 (0014.jp2)
- 2.4 高電圧引き出し実験 / p23 (0016.jp2)
- 2.5 大電流酸素イオン源の目標性能の設定 / p33 (0021.jp2)
- 2.6 要約 / p35 (0022.jp2)
- 第3章 空洞共振器構成の二重構造窓型ECRイオン源 / p37 (0023.jp2)
- 3.1 はじめに / p37 (0023.jp2)
- 3.2 プラズマから引き出されるイオン電流 / p38 (0024.jp2)
- 3.3 実験系 / p44 (0027.jp2)
- 3.4 イオン源構成要素の検討 / p49 (0029.jp2)
- 3.5 最適条件における高電圧引き出し特性 / p67 (0038.jp2)
- 3.6 要約 / p70 (0040.jp2)
- 第4章 高密度プラズマ生成要因の把握 / p75 (0042.jp2)
- 4.1 はじめに / p75 (0042.jp2)
- 4.2 実験方法 / p76 (0043.jp2)
- 4.3 空洞共振器構成でのプラズマ密度分布 / p78 (0044.jp2)
- 4.4 プラズマ密度に対するプラズマ生成室の長さの影響 / p84 (0047.jp2)
- 4.5 短軸プラズマ生成室構成による特性把握 / p95 (0052.jp2)
- 4.6 要約 / p104 (0057.jp2)
- 第5章 短軸プラズマ生成室型高密度･大電流ECRイオン源の構成法 / p107 (0058.jp2)
- 5.1 はじめに / p107 (0058.jp2)
- 5.2 高密度化ECRイオン源の構成条件 / p108 (0059.jp2)
- 5.3 短軸型高密度ECRイオン源の各種構成法 / p117 (0063.jp2)
- 5.4 短軸型高密度･大電流ECRイオン源の基本特性 / p124 (0067.jp2)
- 5.5 要約 / p128 (0069.jp2)
- 第6章 長寿命･大電流ECRイオン源プロトタイプ機 / p133 (0071.jp2)
- 6.1 はじめに / p133 (0071.jp2)
- 6.2 マイクロ波導入窓構成 / p134 (0072.jp2)
- 6.3 マイクロ波のプラズマへの透過率 / p137 (0073.jp2)
- 6.4 積層誘電体窓の設計法 / p141 (0075.jp2)
- 6.5 長寿命･大電流プロトタイプECRイオン源の基本特性 / p153 (0081.jp2)
- 6.6 大電流酸素イオン注入装置用テストスタンドでのイオン源評価 / p156 (0083.jp2)
- 6.7 要約 / p159 (0084.jp2)
- 第7章 装置搭載用大電流ECRイオン源商用機 / p161 (0085.jp2)
- 7.1 はじめに / p161 (0085.jp2)
- 7.2 大電流酸素イオン注入装置 / p162 (0086.jp2)
- 7.3 商用型大電流酸素イオン源の構成 / p166 (0088.jp2)
- 7.4 商用型イオン源の性能 / p172 (0091.jp2)
- 55 装置搭載によるイオン源実用性能の実証 / p177 (0093.jp2)
- 7.6 開発した大電流ECRイオン源のまとめ / p183 (0096.jp2)
- 7.7 要約 / p187 (0098.jp2)
- 第8章 マイクロ波分岐導入型窓無損傷大電流ECRイオン源 / p189 (0099.jp2)
- 8.1 はじめに / p189 (0099.jp2)
- 8.2 窓無損傷イオン源の構成 / p190 (0100.jp2)
- 8.3 マイクロ波分岐導入型窓無損傷新イオン源の設計 / p192 (0101.jp2)
- 8.4 実験結果 / p194 (0102.jp2)
- 8.5 要約 / p200 (0105.jp2)
- 第9章 結論 / p205 (0107.jp2)
- 謝辞 / p209 (0109.jp2)
- 本研究に関連する発表論文および口頭発表 / p210 (0110.jp2)