レーザー蛍光法によるデプスプロファイリングに関する基礎研究

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著者

    • 呉, 行正 ウー, シンチョン

書誌事項

タイトル

レーザー蛍光法によるデプスプロファイリングに関する基礎研究

著者名

呉, 行正

著者別名

ウー, シンチョン

学位授与大学

東京大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第9211号

学位授与年月日

1991-07-11

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. §1.1 研究の背景 / p1 (0006.jp2)
  4. §1.2 研究の目的 / p7 (0012.jp2)
  5. 第2章 相反原理に基づくレーザー蛍光分光法によるデプスプロファイリングの理論 / p9 (0014.jp2)
  6. §2.1 緒言 / p9 (0014.jp2)
  7. §2.2 相反原理 / p9 (0014.jp2)
  8. §2.3 測定原理 / p11 (0016.jp2)
  9. §2.4 透過関数の導出 / p11 (0016.jp2)
  10. §2.5 フィッティングによる深さ方向濃度分布の導出 / p15 (0020.jp2)
  11. 第3章 測定系およびモデル試料 / p17 (0022.jp2)
  12. §3.1 緒言 / p17 (0022.jp2)
  13. §3.2 測定系 / p17 (0022.jp2)
  14. §3.3 モデル試料 / p21 (0026.jp2)
  15. 第4章 相反原理に基づく垂直入射条件下でのレーザー蛍光法によるデプスプロファイリングの実証 / p27 (0032.jp2)
  16. §4.1 緒言 / p27 (0032.jp2)
  17. §4.2 モデル試料 / p27 (0032.jp2)
  18. §4.3 蛍光強度の観測角度依存性 / p29 (0034.jp2)
  19. §4.4 フィッティングによるC(z)の再構成 / p31 (0036.jp2)
  20. §4.5 結言 / p33 (0038.jp2)
  21. 第5章 膜厚に対する適用限界及び測定精度 / p35 (0040.jp2)
  22. §5.1 緒言 / p35 (0040.jp2)
  23. §5.2 シミュレーション / p35 (0040.jp2)
  24. §5.3 結果及び考察 / p39 (0044.jp2)
  25. §5.4 結言 / p49 (0054.jp2)
  26. 第6章 二分子層レベルのデプスプロファイリング / p50 (0055.jp2)
  27. §6.1 緒言 / p50 (0055.jp2)
  28. §6.2 本実験条件下での理論限界 / p50 (0055.jp2)
  29. §6.3 モデル試料 / p52 (0057.jp2)
  30. §6.4 結果及び考察 / p52 (0057.jp2)
  31. §6.5 装置系の改善及び分子レベルのデプスプロファイリングの可能性 / p55 (0060.jp2)
  32. §6.6 結言 / p55 (0060.jp2)
  33. 第7章 超薄膜内の拡散計測への応用 / p57 (0062.jp2)
  34. §7.1 緒言 / p57 (0062.jp2)
  35. §7.2 方法 / p57 (0062.jp2)
  36. §7.3 実験 / p60 (0065.jp2)
  37. §7.4 結果と考察 / p60 (0065.jp2)
  38. §7.5 結言 / p64 (0069.jp2)
  39. 第8章 バルク試料への応用 / p65 (0070.jp2)
  40. §8.1 緒言 / p65 (0070.jp2)
  41. §8.2 バルク試料系に於ける蛍光強度の角度依存性 / p65 (0070.jp2)
  42. §8.3 実験 / p69 (0074.jp2)
  43. §8.4 結果と考察 / p69 (0074.jp2)
  44. §8.5 結言 / p74 (0079.jp2)
  45. 第9章 総括 / p75 (0080.jp2)
  46. §9.1 結論 / p75 (0080.jp2)
  47. §9.2 今後の展開 / p75 (0080.jp2)
  48. 付録 LB累積膜について / p77 (0082.jp2)
  49. 参考文献リスト / p81 (0086.jp2)
  50. 謝辞 / p87 (0092.jp2)
  51. 研究成果 / p85 (0090.jp2)
  52. 論文要旨 / p1 (0094.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000098327
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000098556
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000262641
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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