シンクロトロン放射光によるアルミニウム表面層からのガス放出 Outgassing from aluminum surface layer induced by synchrotron radiation

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著者

    • 大田, 暢彦 オオタ, ノブヒコ

書誌事項

タイトル

シンクロトロン放射光によるアルミニウム表面層からのガス放出

タイトル別名

Outgassing from aluminum surface layer induced by synchrotron radiation

著者名

大田, 暢彦

著者別名

オオタ, ノブヒコ

学位授与大学

総合研究大学院大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第41号

学位授与年月日

1993-03-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 本論文の要旨 / p1 (0005.jp2)
  3. 第1章 序論 / p3 (0008.jp2)
  4. 1.1 序 / p3 (0008.jp2)
  5. 1.2 シンクロトロン放射光によるガス放出と電子のビーム寿命 / p3 (0008.jp2)
  6. 1.3 本研究の背景 / p7 (0012.jp2)
  7. 1.4 本研究の目的 / p8 (0013.jp2)
  8. 1.5 本論文の意義と構成 / p8 (0013.jp2)
  9. 第2章 シンクロトロン放射光によるガス放出特性の評価 / p11 (0017.jp2)
  10. 2.1 序 / p11 (0017.jp2)
  11. 2.2 光脱離係数 / p11 (0017.jp2)
  12. 2.3 ガス放出特性評価装置 / p12 (0018.jp2)
  13. 2.4 光脱離係数の計算 / p16 (0022.jp2)
  14. 2.5 これまでに測定されたアルミニウムのPSD特性 / p19 (0025.jp2)
  15. 第3章 最表面不純物の除去とPSD特性 / p22 (0029.jp2)
  16. 3.1 緒言 / p22 (0029.jp2)
  17. 3.2 活性酸素による表面洗浄装置 / p22 (0029.jp2)
  18. 3.3 実験 / p22 (0029.jp2)
  19. 3.4 結果と考察 / p24 (0031.jp2)
  20. 3.5 結言 / p29 (0036.jp2)
  21. 第4章 表面層内部の不純物の除去とPSD特性 / p35 (0043.jp2)
  22. 4.1 緒言 / p35 (0043.jp2)
  23. 4.2 実験装置 / p35 (0043.jp2)
  24. 4.3 実験 / p41 (0049.jp2)
  25. 4.4 結果と考察 / p43 (0051.jp2)
  26. 4.5 表面層の炭素原子数とPSD特性の定量的関係 / p57 (0065.jp2)
  27. 4.6 結言 / p66 (0074.jp2)
  28. 第5章 光脱離係数ηに関する考察 / p70 (0079.jp2)
  29. 5.1 緒言 / p70 (0079.jp2)
  30. 5.2 試料がチェンバの場合のηと試料がピースの場合のηの関係 / p70 (0079.jp2)
  31. 5.3 初期ηと表面層の炭素原子数の関係 / p73 (0082.jp2)
  32. 5.4 ηの上昇と一定値収束の原因の考察 / p76 (0085.jp2)
  33. 5.5 初期ηの予測 / p87 (0096.jp2)
  34. 5.6 結言 / p91 (0100.jp2)
  35. 第6章 結論 / p93 (0103.jp2)
  36. 謝辞 / p95 (0105.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000099288
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000099518
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000263602
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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