シンクロトロン放射光によるアルミニウム表面層からのガス放出 Outgassing from aluminum surface layer induced by synchrotron radiation
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Bibliographic Information
- Title
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シンクロトロン放射光によるアルミニウム表面層からのガス放出
- Other Title
-
Outgassing from aluminum surface layer induced by synchrotron radiation
- Author
-
大田, 暢彦
- Author(Another name)
-
オオタ, ノブヒコ
- University
-
総合研究大学院大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第41号
- Degree year
-
1993-03-23
Note and Description
博士論文
総研大甲第41号
Table of Contents
- 目次 / (0003.jp2)
- 本論文の要旨 / p1 (0005.jp2)
- 第1章 序論 / p3 (0008.jp2)
- 1.1 序 / p3 (0008.jp2)
- 1.2 シンクロトロン放射光によるガス放出と電子のビーム寿命 / p3 (0008.jp2)
- 1.3 本研究の背景 / p7 (0012.jp2)
- 1.4 本研究の目的 / p8 (0013.jp2)
- 1.5 本論文の意義と構成 / p8 (0013.jp2)
- 第2章 シンクロトロン放射光によるガス放出特性の評価 / p11 (0017.jp2)
- 2.1 序 / p11 (0017.jp2)
- 2.2 光脱離係数 / p11 (0017.jp2)
- 2.3 ガス放出特性評価装置 / p12 (0018.jp2)
- 2.4 光脱離係数の計算 / p16 (0022.jp2)
- 2.5 これまでに測定されたアルミニウムのPSD特性 / p19 (0025.jp2)
- 第3章 最表面不純物の除去とPSD特性 / p22 (0029.jp2)
- 3.1 緒言 / p22 (0029.jp2)
- 3.2 活性酸素による表面洗浄装置 / p22 (0029.jp2)
- 3.3 実験 / p22 (0029.jp2)
- 3.4 結果と考察 / p24 (0031.jp2)
- 3.5 結言 / p29 (0036.jp2)
- 第4章 表面層内部の不純物の除去とPSD特性 / p35 (0043.jp2)
- 4.1 緒言 / p35 (0043.jp2)
- 4.2 実験装置 / p35 (0043.jp2)
- 4.3 実験 / p41 (0049.jp2)
- 4.4 結果と考察 / p43 (0051.jp2)
- 4.5 表面層の炭素原子数とPSD特性の定量的関係 / p57 (0065.jp2)
- 4.6 結言 / p66 (0074.jp2)
- 第5章 光脱離係数ηに関する考察 / p70 (0079.jp2)
- 5.1 緒言 / p70 (0079.jp2)
- 5.2 試料がチェンバの場合のηと試料がピースの場合のηの関係 / p70 (0079.jp2)
- 5.3 初期ηと表面層の炭素原子数の関係 / p73 (0082.jp2)
- 5.4 ηの上昇と一定値収束の原因の考察 / p76 (0085.jp2)
- 5.5 初期ηの予測 / p87 (0096.jp2)
- 5.6 結言 / p91 (0100.jp2)
- 第6章 結論 / p93 (0103.jp2)
- 謝辞 / p95 (0105.jp2)
