低圧グロー放電プラズマ中の電子エネルギー分布関数に関する研究 テイアツ グロー ホウデン プラズマチュウ ノ デンシ エネルギー ブンプ カンスウ ニカンスル ケンキュウ

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著者

    • 木村, 高志 キムラ, タカシ

書誌事項

タイトル

低圧グロー放電プラズマ中の電子エネルギー分布関数に関する研究

タイトル別名

テイアツ グロー ホウデン プラズマチュウ ノ デンシ エネルギー ブンプ カンスウ ニカンスル ケンキュウ

著者名

木村, 高志

著者別名

キムラ, タカシ

学位授与大学

名古屋工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第72号

学位授与年月日

1994-12-01

注記・抄録

博士論文

主査:大江 一行

目次

  1. 目次 / (0004.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1-1 低圧グロー放電プラズマと電気工学 / p1 (0006.jp2)
  4. 1-2 本論文に関連した従来の研究 / p2 (0007.jp2)
  5. 1-3 研究の意義と本論文の構成 / p7 (0009.jp2)
  6. 参照文献 / p10 (0011.jp2)
  7. 第2章 FIRフィルタによる電子エネルギー分布関数検出 / p13 (0012.jp2)
  8. 2-1 はじめに / p13 (0012.jp2)
  9. 2-2 EEDF測定原理 / p14 (0013.jp2)
  10. 2-3 数値シミュレーション / p18 (0015.jp2)
  11. 2-4 ボルツマン方程式解析 / p22 (0017.jp2)
  12. 2-5 実験結果及び検討 / p23 (0017.jp2)
  13. 2-6 結論 / p26 (0019.jp2)
  14. 付録2-1 / p27 (0019.jp2)
  15. 付録2-2 / p30 (0021.jp2)
  16. 参照文献 / p32 (0022.jp2)
  17. 第3章 プローブ測定における参照電極としてのエミッシブプローブ / p33 (0022.jp2)
  18. 3-1 はじめに / p33 (0022.jp2)
  19. 3-2 基本動作原理 / p34 (0023.jp2)
  20. 3-3 参照電極としてのエミッシブプローブの使用範囲 / p37 (0024.jp2)
  21. 3-4 実験結果 / p40 (0026.jp2)
  22. 参照文献 / p44 (0028.jp2)
  23. 第4章 Ar-N₂混合DCグロー放電プラズマの特性 / p45 (0028.jp2)
  24. 4-1 はじめに / p45 (0028.jp2)
  25. 4-2 理論モデル / p46 (0029.jp2)
  26. 4-3 実験手順 / p50 (0031.jp2)
  27. 4-4 結果及び検討 / p51 (0031.jp2)
  28. 4-5 結論 / p58 (0035.jp2)
  29. 参照文献 / p61 (0036.jp2)
  30. 第5章 振動を伴うプラズマ中の電子エネルギー分布関数 / p63 (0037.jp2)
  31. 5-1 はじめに / p63 (0037.jp2)
  32. 5-2 定常状態EEDFの推定 / p64 (0038.jp2)
  33. 5-3 時間平均プローブ特性からのEEDF歪み / p64 (0038.jp2)
  34. 5-4 実験 / p66 (0039.jp2)
  35. 5-5 結果及び検討 / p69 (0040.jp2)
  36. 5-6 結論 / p77 (0044.jp2)
  37. 参照文献 / p78 (0045.jp2)
  38. 第6章 高周波Arプラズマ中電子エネルギー分布関数の測定 / p79 (0045.jp2)
  39. 6-1 はじめに / p79 (0045.jp2)
  40. 6-2 実験 / p80 (0046.jp2)
  41. 6-3 高周波プラズマ電位の抑制 / p82 (0047.jp2)
  42. 6-4 高周波プラズマ中のボルツマン方程式解析 / p85 (0048.jp2)
  43. 6-5 実験結果及び検討 / p85 (0048.jp2)
  44. 6-6 結論 / p89 (0050.jp2)
  45. 参照文献 / p90 (0051.jp2)
  46. 第7章 高周波Heプラズマ中電子エネルギー及び電力消費の圧力依存性 / p91 (0051.jp2)
  47. 7-1 はじめに / p91 (0051.jp2)
  48. 7-2 実験 / p92 (0052.jp2)
  49. 7-3 結果及び検討 / p93 (0052.jp2)
  50. 7-4 結論 / p99 (0055.jp2)
  51. 参照文献 / p102 (0057.jp2)
  52. 第8章 総括 / p103 (0057.jp2)
  53. 8-1 まとめ / p103 (0057.jp2)
  54. 8-2 研究の問題点と今後の課題 / p106 (0059.jp2)
  55. 謝辞 / p109 (0060.jp2)
  56. 本研究に関して発表した論文 / p110 (0061.jp2)
  57. その他の論文リスト / p111 (0061.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000115270
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000115529
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000279584
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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