ガス中蒸着によるAg/NaCl薄膜のエピタキシャル成長に関する研究

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著者

    • 星, 一以 ホシ, イチイ

書誌事項

タイトル

ガス中蒸着によるAg/NaCl薄膜のエピタキシャル成長に関する研究

著者名

星, 一以

著者別名

ホシ, イチイ

学位授与大学

日本大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第4850号

学位授与年月日

1994-11-28

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0002.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0004.jp2)
  3. 1.1 はじめに / p1 (0004.jp2)
  4. 1.2 薄膜の歴史 / p4 (0006.jp2)
  5. 1.3 ガス中蒸着法の開発 / p12 (0010.jp2)
  6. 第2章 真空蒸着によるAg/NaCl系のエピタキシャル成長 / p16 (0012.jp2)
  7. 2.1 はじめに / p16 (0012.jp2)
  8. 2.2 実験方法 / p16 (0012.jp2)
  9. 2.3 実験結果および考察 / p18 (0013.jp2)
  10. 2.4 まとめ / p26 (0017.jp2)
  11. 第3章 ガス中蒸着によるAg/NaCl系のエピタキシャル成長と(110)Ag粒子の生成 / p27 (0017.jp2)
  12. 3.1 はじめに / p27 (0017.jp2)
  13. 3.2 実験方法 / p28 (0018.jp2)
  14. 3.3 実験結果および考察 / p30 (0019.jp2)
  15. 3.4 まとめ / p42 (0025.jp2)
  16. 第4章 ガス中蒸着によるエピタキシャル成長に関する気体分子運動論的考察 / p44 (0026.jp2)
  17. 4.1 はじめに / p44 (0026.jp2)
  18. 4.2 ガス中蒸着における蒸着原子の濃度分布 / p44 (0026.jp2)
  19. 4.3 蒸着原子の平均自由行程 / p49 (0028.jp2)
  20. 4.4 Arガスの温度上昇 / p52 (0030.jp2)
  21. 4.5 Arガスによる下地温度の上昇 / p53 (0030.jp2)
  22. 4.6 2次元ガスモデルとエピタキシャル成長 / p56 (0032.jp2)
  23. 4.7 まとめ / p58 (0033.jp2)
  24. 第5章 ガス中蒸着によるエピタキシャル成長に関する実験的考察 / p59 (0033.jp2)
  25. 5.1 はじめに / p59 (0033.jp2)
  26. 5.2 実験方法 / p59 (0033.jp2)
  27. 5.3 実験結果および考察 / p63 (0035.jp2)
  28. 5.4 まとめ / p81 (0044.jp2)
  29. 第6章 ガス中蒸着による(110)面でのAg粒子のエピタキシャル成長 / p83 (0045.jp2)
  30. 6.1 はじめに / p83 (0045.jp2)
  31. 6.2 実験方法 / p83 (0045.jp2)
  32. 6.3 実験結果および考察 / p84 (0046.jp2)
  33. 6.4 まとめ / p100 (0054.jp2)
  34. 第7章 ガス中蒸着法の総括と今後の展望 / p101 (0054.jp2)
  35. 7.1 ガス中蒸着法の総括 / p101 (0054.jp2)
  36. 7.2 ガス中蒸着法の今後展望 / p104 (0056.jp2)
  37. 謝辞 / p112 (0060.jp2)
  38. 付録 不連続膜の電気的特性と蒸着膜の格子欠陥 / p113 (0060.jp2)
  39. 付.1 不連続薄膜の電気的特性 / p113 (0060.jp2)
  40. 付.2 真空蒸着膜の格子欠陥の回復 / p116 (0062.jp2)
  41. 付.3 格子欠陥と電気抵抗変化の自動測定 / p119 (0063.jp2)
  42. 付.4 ガス中蒸着膜の格子欠陥の回復 / p126 (0067.jp2)
  43. 参考文献 / p129 (0068.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000115332
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000115591
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000279646
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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