チタン陰極窒素ガス真空アークプラズマにおける励起・電離および蒸着プロセスに関する研究

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著者

    • 榊, 守 サカキ, マモル

書誌事項

タイトル

チタン陰極窒素ガス真空アークプラズマにおける励起・電離および蒸着プロセスに関する研究

著者名

榊, 守

著者別名

サカキ, マモル

学位授与大学

豊橋技術科学大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第87号

学位授与年月日

1996-03-13

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 要旨 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
  3. 1.1 本研究の目的と概要 / p1 (0007.jp2)
  4. 1.2 真空アーク放電の原理 / p3 (0008.jp2)
  5. 1.3 真空アーク蒸着法の歴史 / p18 (0016.jp2)
  6. 1.4 本論文の構成 / p21 (0017.jp2)
  7. 参考文献 / p22 (0018.jp2)
  8. 第2章 アークプラズマの分光診断 / p27 (0020.jp2)
  9. 2.1 はじめに / p27 (0020.jp2)
  10. 2.2 実験装置 / p27 (0020.jp2)
  11. 2.3 放電条件 / p29 (0021.jp2)
  12. 2.4 分光測定結果 / p29 (0021.jp2)
  13. 2.5 むすび / p43 (0028.jp2)
  14. 参考文献 / p44 (0029.jp2)
  15. 第3章 電子温度・密度および電子エネルギー分布の計測 / p45 (0029.jp2)
  16. 3.1 はじめに / p45 (0029.jp2)
  17. 3.2 静電プローブの構造 / p45 (0029.jp2)
  18. 3.3 プローブによる測定 / p47 (0030.jp2)
  19. 3.4 プラズマ中のイオン / p57 (0035.jp2)
  20. 3.5 電子のエネルギー / p64 (0039.jp2)
  21. 3.6 むすび / p70 (0042.jp2)
  22. 参考文献 / p71 (0042.jp2)
  23. 第4章 イオンのエネルギー分布およびイオン運動の方向性 / p73 (0043.jp2)
  24. 4.1 はじめに / p73 (0043.jp2)
  25. 4.2 格子型イオンエネルギー分析器 / p74 (0044.jp2)
  26. 4.3 差動排気型イオンエネルギー分析器による計測 / p84 (0049.jp2)
  27. 4.4 平板プローブを用いたイオンの診断 / p108 (0061.jp2)
  28. 4.5 むすび / p116 (0065.jp2)
  29. 参考文献 / p117 (0065.jp2)
  30. 第5章 プラズマ構成粒子の励起・電離メカニズムとTiN反応モデル / p119 (0066.jp2)
  31. 5.1 はじめに / p119 (0066.jp2)
  32. 5.2 実験装置の構成 / p119 (0066.jp2)
  33. 5.3 N₂の励起・電離プロセス / p119 (0066.jp2)
  34. 5.4 チタンイオンの生成プロセス / p123 (0068.jp2)
  35. 5.5 TiNの生成プロセス / p126 (0070.jp2)
  36. 5.6 むすび / p131 (0072.jp2)
  37. 参考文献 / p132 (0073.jp2)
  38. 第6章 総括 / p134 (0074.jp2)
  39. 謝辞 / p137 (0075.jp2)
  40. 付録A 研究業績 / p139 (0076.jp2)
  41. A.1 原著論文 / p139 (0076.jp2)
  42. A.2 口頭発表 / p140 (0077.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000130110
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000953891
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000294424
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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