Microstructure and property of multilayered and granular Fe-Al-N thin films prepared by rf sputtering 高周波スパッタ法により作製した積層及び分散系Fe-Al-N薄膜の微細構造と物性

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著者

    • 藤木, 充司 フジキ, ミツシ

書誌事項

タイトル

Microstructure and property of multilayered and granular Fe-Al-N thin films prepared by rf sputtering

タイトル別名

高周波スパッタ法により作製した積層及び分散系Fe-Al-N薄膜の微細構造と物性

著者名

藤木, 充司

著者別名

フジキ, ミツシ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (理学)

学位授与番号

甲第5421号

学位授与年月日

1996-03-25

注記・抄録

博士論文

12318

博士(理学)

1996-03-25

大阪大学

14401甲第05421号

目次

  1. Contents / (0003.jp2)
  2. Chapter1 Introduction / p1 (0004.jp2)
  3. 1-1 Introduction / p2 (0005.jp2)
  4. 1-2 Purpose of this study / p13 (0016.jp2)
  5. References / p16 (0019.jp2)
  6. Chapter2 Microstructure of rf sputter deposited A1N thin film / p19 (0022.jp2)
  7. 2-1 Introduction / p20 (0023.jp2)
  8. 2-2 Experimental / p21 (0024.jp2)
  9. 2-3 Results and discussion / p23 (0026.jp2)
  10. 2-4 Conclusion / p37 (0040.jp2)
  11. Refernces / p38 (0041.jp2)
  12. Chapter3 Magnetic property and interface characterization of multilayered Fe/AIN thin film / p39 (0042.jp2)
  13. 3-1 Introduction / p40 (0043.jp2)
  14. 3-2 Experimental / p41 (0044.jp2)
  15. 3-3 Results and discussion / p45 (0048.jp2)
  16. 3-4 Conclusion / p70 (0073.jp2)
  17. References / p71 (0074.jp2)
  18. Chapter4 Magnetic property and microstructure of granular Fe-Al-N thin film / p73 (0076.jp2)
  19. 4-1 Introduction / p74 (0077.jp2)
  20. 4-2 Experimental / p75 (0078.jp2)
  21. 4-3 Results and discussion / p78 (0081.jp2)
  22. 4-4 Conclusion / p108 (0111.jp2)
  23. References / p109 (0112.jp2)
  24. Chapter5 General discussion / p110 (0113.jp2)
  25. Acknowledgment / p116 (0119.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000130313
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000954079
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000294627
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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