プラズマプロセスを用いたⅢ-Ⅴ化合物半導体の表面モディフィケーションに関する研究

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著者

    • 坂本, 善史 サカモト, ヨシフミ

書誌事項

タイトル

プラズマプロセスを用いたⅢ-Ⅴ化合物半導体の表面モディフィケーションに関する研究

著者名

坂本, 善史

著者別名

サカモト, ヨシフミ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第5578号

学位授与年月日

1996-03-25

注記・抄録

博士論文

12475

博士(工学)

1996-03-25

大阪大学

14401甲第05578号

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 参考文献 / p3 (0006.jp2)
  4. 第2章 プラズマプロセスによるInPの表面モディフィケーションと評価方法 / p4 (0007.jp2)
  5. 2.1.緒言 / p4 (0007.jp2)
  6. 2.2.プラズマ処理方法 / p5 (0007.jp2)
  7. 2.3.X線光電子分光法(XPS)による表面分析 / p7 (0008.jp2)
  8. 2.4.ケルビンプローブ法による表面フェルミ準位位置の評価 / p12 (0011.jp2)
  9. 2.5.考察 / p15 (0012.jp2)
  10. 2.6.結言 / p17 (0013.jp2)
  11. 参考文献 / p18 (0014.jp2)
  12. 第3章 プラズマ処理表面に作製したInPショットキー接合の特性 / p19 (0014.jp2)
  13. 3.1.緒言 / p19 (0014.jp2)
  14. 3.2.熱電子放出理論 / p20 (0015.jp2)
  15. 3.3.実験方法 / p22 (0016.jp2)
  16. 3.4.実験結果及び考察 / p22 (0016.jp2)
  17. 3.5.結言 / p36 (0023.jp2)
  18. 参考文献 / p37 (0023.jp2)
  19. 第4章 プラズマ処理によりInP中に生成された電子トラップの評価 / p39 (0024.jp2)
  20. 4.1.緒言 / p39 (0024.jp2)
  21. 4.2.等温過渡容量法(ICTS)の原理と方法 / p40 (0025.jp2)
  22. 4.3.実験結果及び考察 / p42 (0026.jp2)
  23. 4.4.結言 / p53 (0031.jp2)
  24. 参考文献 / p54 (0032.jp2)
  25. 第5章 リモートプラズマを用いたin-situ多段プロセスによるAu/PNx/InP MIS 構造の作製と評価 / p55 (0032.jp2)
  26. 5.1.緒言 / p55 (0032.jp2)
  27. 5.2.実験方法 / p56 (0033.jp2)
  28. 5.3.実験結果及び考察 / p58 (0034.jp2)
  29. 5.4.結言 / p65 (0037.jp2)
  30. 参考文献 / p66 (0038.jp2)
  31. 第6章 フォスフィンプラズマ処理によるInGaAsの表面モディフィケーション / p67 (0038.jp2)
  32. 6.1.緒言 / p67 (0038.jp2)
  33. 6.2.実験方法 / p68 (0039.jp2)
  34. 6.3.実験結果及び考察 / p68 (0039.jp2)
  35. 6.4.結言 / p75 (0042.jp2)
  36. 参考文献 / p75 (0042.jp2)
  37. 第7章 プラズマプロセス及び評価技術のダイヤモンドへの応用 / p76 (0043.jp2)
  38. 7.1.緒言 / p76 (0043.jp2)
  39. 7.2.実験方法 / p77 (0043.jp2)
  40. 7.3.実験結果及び考察 / p78 (0044.jp2)
  41. 7.4.結言 / p82 (0046.jp2)
  42. 参考文献 / p83 (0046.jp2)
  43. 第8章結論 / p84 (0047.jp2)
  44. 謝辞 / p87 (0048.jp2)
  45. 研究業績 / p88 (0049.jp2)
1アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000130470
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000954227
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000294784
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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