超微粒ダイヤモンドの精製とダイヤモンド気相合成への応用に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
超微粒ダイヤモンドの精製とダイヤモンド気相合成への応用に関する研究
- 著者名
-
牧田, 寛
- 著者別名
-
マキタ, ヒロシ
- 学位授与大学
-
大阪大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
甲第5579号
- 学位授与年月日
-
1996-03-25
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / (0004.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
- 1.1 CVDダイヤモンドの歴史 / p1 (0005.jp2)
- 1.2 CVDダイヤモンドの合成 / p3 (0006.jp2)
- 1.3 本研究の目的 / p12 (0011.jp2)
- 参考文献 / p14 (0012.jp2)
- 第2章 超微粒ダイヤモンドの性質と精製 / p16 (0013.jp2)
- 2.1 緒言 / p16 (0013.jp2)
- 2.2 超微粒ダイヤモンドの性質 / p19 (0014.jp2)
- 2.3 超微粒ダイヤモンドの精製 / p24 (0017.jp2)
- 2.4 精製後の超微粒ダイヤモンドの性質 / p30 (0020.jp2)
- 2.5 結言 / p35 (0022.jp2)
- 参考文献 / p36 (0023.jp2)
- 第3章 超微粒ダイヤモンドを用いた種付け処理 / p37 (0023.jp2)
- 3.1 緒言 / p37 (0023.jp2)
- 3.2 超微粒ダイヤモンドコロイド / p38 (0024.jp2)
- 3.3 超微粒ダイヤモンドによるコロイド溶液の作成 / p49 (0029.jp2)
- 3.4 超微粒ダイヤモンドコロイド溶液による基板への種付け / p54 (0032.jp2)
- 3.5 結言 / p56 (0033.jp2)
- 参考文献 / p57 (0033.jp2)
- 第4章 気相合成法によるダイヤモンド薄膜の合成 / p58 (0034.jp2)
- 4.1 緒言 / p58 (0034.jp2)
- 4.2 マイクロ波プラズマCVD法 / p59 (0034.jp2)
- 4.3 有磁場マイクロ波CVD法 / p62 (0036.jp2)
- 4.4 結言 / p73 (0041.jp2)
- 参考文献 / p74 (0042.jp2)
- 第5章 種付け法により合成した気相合成ダイヤモンドの評価 / p75 (0042.jp2)
- 5.1 緒言 / p75 (0042.jp2)
- 5.2 成長粒子密度と成長速度からの評価 / p76 (0043.jp2)
- 5.3 種付け処理の低温合成への応用 / p83 (0046.jp2)
- 5.4 (100)面選択成長への応用 / p86 (0048.jp2)
- 5.5 その他の気相合成手法と,Si以外の基板への応用 / p88 (0049.jp2)
- 5.6 結言 / p89 (0049.jp2)
- 参考文献 / p90 (0050.jp2)
- 第6章 結論 / p91 (0050.jp2)
- 謝辞 / p94 (0052.jp2)
- 研究業績 / p95 (0052.jp2)