CVD法で合成されたダイヤモンド結晶の微細構造欠陥に関する研究

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著者

    • 柳生, 博之 ヤギュウ, ヒロユキ

書誌事項

タイトル

CVD法で合成されたダイヤモンド結晶の微細構造欠陥に関する研究

著者名

柳生, 博之

著者別名

ヤギュウ, ヒロユキ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第5581号

学位授与年月日

1996-03-25

注記・抄録

博士論文

14401甲第05581号

博士(工学)

大阪大学

1996-03-25

12478

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 緒言 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 本研究の背景 / p1 (0006.jp2)
  5. 1.3 本研究の位置付け / p9 (0010.jp2)
  6. 1.4 本論文の構成 / p12 (0012.jp2)
  7. 参考文献 / p14 (0013.jp2)
  8. 第2章 マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンドの合成 / p17 (0014.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p17 (0014.jp2)
  10. 2.2 CVDダイヤモンドの合成 / p17 (0014.jp2)
  11. 2.3 選択核形成技術(SENTAXY法) / p28 (0020.jp2)
  12. 2.4 結言 / p30 (0021.jp2)
  13. 参考文献 / p31 (0021.jp2)
  14. 第3章 合成されたCVDダイヤモンド結晶の電子顕微鏡観察 / p33 (0022.jp2)
  15. 3.1 緒言 / p33 (0022.jp2)
  16. 3.2 走査型電子顕微鏡(SEM)による観察 / p36 (0024.jp2)
  17. 3.3 透過型電子顕微鏡(TEM)による観察 / p51 (0031.jp2)
  18. 3.4 結言 / p76 (0044.jp2)
  19. 参考文献 / p78 (0045.jp2)
  20. 第4章 イオン注入欠陥及び結晶性回復処理 / p80 (0046.jp2)
  21. 4.1 緒言 / p80 (0046.jp2)
  22. 4.2 カソードルミネッセンス(CL)による評価 / p81 (0046.jp2)
  23. 4.3 イオン注入CVDダイヤモンドからのCLスペクトル / p86 (0049.jp2)
  24. 4.4 水素プラズマ処理による結晶性回復 / p94 (0053.jp2)
  25. 4.5 COを微量添加した水素プラズマ処理による結晶性回復 / p99 (0055.jp2)
  26. 4.6 ホウ素のプレドーピングによる注入欠陥の低減 / p102 (0057.jp2)
  27. 4.7 結言 / p113 (0062.jp2)
  28. 参考文献 / p115 (0063.jp2)
  29. 第5章 現有課題及び今後の技術的指針 / p119 (0065.jp2)
  30. 5.1 諸言 / p119 (0065.jp2)
  31. 5.2 再検討及び解決が必要不可欠と考えられる課題 / p119 (0065.jp2)
  32. 5.3 課題解決のための指針 / p122 (0067.jp2)
  33. 5.4 結言 / p125 (0068.jp2)
  34. 参考文献 / p126 (0069.jp2)
  35. 第6章 結論 / p129 (0070.jp2)
  36. 付録 / p133 (0072.jp2)
  37. A.1 透過型電子顕微鏡(TEM)の構造と観察方法 / p133 (0072.jp2)
  38. A.2 透過型電子顕微鏡観察のための試料加工方法 / p138 (0075.jp2)
  39. 謝辞 / p141 (0076.jp2)
  40. 研究業績 / p143 (0077.jp2)
4アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000130473
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000954230
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000294787
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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