Crystal chemistry and properties of double metal nitride in the TiN-AlN system TiN-AlN系複金属窒化物の結晶化学と物性

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著者

    • 稲村, 偉 イナムラ, スグル

書誌事項

タイトル

Crystal chemistry and properties of double metal nitride in the TiN-AlN system

タイトル別名

TiN-AlN系複金属窒化物の結晶化学と物性

著者名

稲村, 偉

著者別名

イナムラ, スグル

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (理学)

学位授与番号

乙第6899号

学位授与年月日

1996-03-25

注記・抄録

博士論文

12562

博士(理学)

1996-03-25

大阪大学

14401乙第06899号

目次

  1. Contents / (0003.jp2)
  2. CHAPTER I.GENERAL INTRODUCTION / p1 (0006.jp2)
  3. I-1.Metal nitrides / p1 (0006.jp2)
  4. I-2.Historical background of TiN and AlN / p8 (0013.jp2)
  5. I-3.Purpose of this investigation / p17 (0022.jp2)
  6. CHAPTER II.PREPARATION OF NITRIDE FILMS IN THE Ti-Al-N SYSTEM. / p20 (0025.jp2)
  7. II-1.Introduction / p20 (0025.jp2)
  8. II-2.Sputtering apparatus and experimental conditions / p21 (0026.jp2)
  9. II-3.Characterization of the nitride film / p26 (0031.jp2)
  10. II-4.Conclusion / p33 (0038.jp2)
  11. CHAPTER III.CRYSTAL CHEMISTRY OF [化学式](0≦x≦1) / p35 (0040.jp2)
  12. III-1.Introduction / p35 (0040.jp2)
  13. III-2.Experimental / p37 (0042.jp2)
  14. III-3.Results and discussion / p39 (0044.jp2)
  15. III-4.Conclusion / p75 (0080.jp2)
  16. CHAPTER IV.ELECTRONIC AND CHEMICAL PROPERTIES OF THE [化学式]SOLID SOLUTION. / p79 (0084.jp2)
  17. IV-1.Introduction / p79 (0084.jp2)
  18. IV-2.Experimental / p81 (0086.jp2)
  19. IV-3.Results and discussion / p83 (0088.jp2)
  20. IV-4.Conclusion / p111 (0116.jp2)
  21. CHAPTER V.GENERAL DISCUSSION AND SUMMARY / p115 (0120.jp2)
  22. REFERENCES / p120 (0125.jp2)
  23. LIST OF PUBLICATIONS / (0130.jp2)
  24. ACKNOWLEDGMENTS / (0133.jp2)
1アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000130660
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000954407
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000000294974
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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