回折モアレ式超精密自動位置決め技法の開発に関する研究

この論文をさがす

著者

    • 劉, 京南 リュウ, ジンナン

書誌事項

タイトル

回折モアレ式超精密自動位置決め技法の開発に関する研究

著者名

劉, 京南

著者別名

リュウ, ジンナン

学位授与大学

愛知工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第1号

学位授与年月日

1996-03-18

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 緒言 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 はじめに / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 位置決め技術の現状 / p5 (0009.jp2)
  5. 1.3 本論文の目的と構成 / p11 (0015.jp2)
  6. 第1章の文献 / p13 (0017.jp2)
  7. 第2章 回折モアレ信号を用いた超精密直線位置決め / p18 (0022.jp2)
  8. 2.1 はじめに / p18 (0022.jp2)
  9. 2.2 回折モアレセンサの特性 / p20 (0024.jp2)
  10. 2.3 位置決め方法 / p31 (0035.jp2)
  11. 2.4 実験 / p36 (0040.jp2)
  12. 2.5 結果と検討 / p50 (0054.jp2)
  13. 2.6 おわりに / p69 (0073.jp2)
  14. 第2章の文献 / p70 (0074.jp2)
  15. 第3章 回折モアレ信号を用いた超精密角度位置決め / p75 (0079.jp2)
  16. 3.1 はじめに / p75 (0079.jp2)
  17. 3.2 シミュレーションによる回折モアレ特性 / p76 (0080.jp2)
  18. 3.3 位置決め方法 / p81 (0085.jp2)
  19. 3.4 実験 / p83 (0087.jp2)
  20. 3.5 結果と検討 / p86 (0090.jp2)
  21. 3.6 おわりに / p94 (0099.jp2)
  22. 第3章の文献 / p95 (0100.jp2)
  23. 第4章 結言 / p97 (0102.jp2)
  24. 4.1 まとめ / p97 (0102.jp2)
  25. 4.2 結論と展望 / p98 (0103.jp2)
  26. 謝辞 / p100 (0105.jp2)
  27. 発表論文リスト / p101 (0106.jp2)
0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000130862
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000954596
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000295176
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ