回折モアレ式超精密自動位置決め技法の開発に関する研究

この論文にアクセスする

博士論文

目次 / (0003.jp2)
第1章緒言 / p1 (0005.jp2)
1.1 はじめに / p1 (0005.jp2)
1.2 位置決め技術の現状 / p5 (0009.jp2)
1.3 本論文の目的と構成 / p11 (0015.jp2)
第1章の文献 / p13 (0017.jp2)
第2章回折モアレ信号を用いた超精密直線位置決め / p18 (0022.jp2)
2.1 はじめに / p18 (0022.jp2)
2.2 回折モアレセンサの特性 / p20 (0024.jp2)
2.3 位置決め方法 / p31 (0035.jp2)
2.4 実験 / p36 (0040.jp2)
2.5 結果と検討 / p50 (0054.jp2)
2.6 おわりに / p69 (0073.jp2)
第2章の文献 / p70 (0074.jp2)
第3章回折モアレ信号を用いた超精密角度位置決め / p75 (0079.jp2)
3.1 はじめに / p75 (0079.jp2)
3.2 シミュレーションによる回折モアレ特性 / p76 (0080.jp2)
3.3 位置決め方法 / p81 (0085.jp2)
3.4 実験 / p83 (0087.jp2)
3.5 結果と検討 / p86 (0090.jp2)
3.6 おわりに / p94 (0099.jp2)
第3章の文献 / p95 (0100.jp2)
第4章結言 / p97 (0102.jp2)
4.1 まとめ / p97 (0102.jp2)
4.2 結論と展望 / p98 (0103.jp2)
謝辞 / p100 (0105.jp2)
発表論文リスト / p101 (0106.jp2)