真空マイクロエレクトロニクスのためのコーン型極微MIS構造電子源に関する研究

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著者

    • 井上, 和則 イノウエ, カズノリ

書誌事項

タイトル

真空マイクロエレクトロニクスのためのコーン型極微MIS構造電子源に関する研究

著者名

井上, 和則

著者別名

イノウエ, カズノリ

学位授与大学

京都大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第6443号

学位授与年月日

1996-03-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. 目次 / p3 (0006.jp2)
  3. 内容要約 / p1 (0005.jp2)
  4. 目次 / p3 (0006.jp2)
  5. 第1章 序論 / p1 (0008.jp2)
  6. 1-1.はじめに / p1 (0008.jp2)
  7. 1-2.真空マイクロエレクトロニクスの現状 / p2 (0009.jp2)
  8. 1-3.極微冷陰極の現状 / p7 (0011.jp2)
  9. 1-4.本研究の目的 / p9 (0012.jp2)
  10. 1-5.本論文の構成 / p11 (0013.jp2)
  11. 第1章の参考文献 / p12 (0014.jp2)
  12. 第2章 電界放出型極微電子源の電子放出特性の安定性に関する検討 / p15 (0015.jp2)
  13. 2-1.はじめに / p15 (0015.jp2)
  14. 2-2.電界放出型電子源 / p15 (0015.jp2)
  15. 2-3.金属蒸着エミッタの電子放出特性の評価方法 / p23 (0019.jp2)
  16. 2-4.金属蒸着エミッタの電子放出特性の測定結果 / p29 (0022.jp2)
  17. 2-5.F-Nプロットの切片と傾きの関係に関する考察 / p39 (0027.jp2)
  18. 2-6.まとめ / p47 (0031.jp2)
  19. 第2章の参考文献 / p49 (0032.jp2)
  20. 第3章 コーン型極微MIS構造電子源のための理論的検討 / p51 (0033.jp2)
  21. 3-1.はじめに / p51 (0033.jp2)
  22. 3-2.コーン型極微MIS構造電子源 / p52 (0034.jp2)
  23. 3-3.計算方法 / p57 (0036.jp2)
  24. 3-4.計算結果 / p68 (0042.jp2)
  25. 3-5.考察 / p81 (0048.jp2)
  26. 3-6.まとめ / p84 (0050.jp2)
  27. 第3章の参考文献 / p86 (0051.jp2)
  28. 第4章 コーン型極微MIS構造電子源の作製と評価 / p89 (0052.jp2)
  29. 4-1.はじめに / p89 (0052.jp2)
  30. 4-2.コーン型極微MIS構造電子源の作製プロセスの検討 / p89 (0052.jp2)
  31. 4-3.引き出し電極を持たないコーン型極微MIS構造電子源の作製 / p101 (0058.jp2)
  32. 4-4.コーン型極微MIS構造電子源の作製 / p110 (0063.jp2)
  33. 4-5.まとめ / p119 (0067.jp2)
  34. 第4章の参考文献 / p120 (0068.jp2)
  35. 第5章 結論 / p121 (0068.jp2)
  36. 第5章の参考文献 / p124 (0070.jp2)
  37. 付録 / p125 (0070.jp2)
  38. A 吸着粒子の影響を仮定した実効放出面積の導出 / p125 (0070.jp2)
  39. B 半導体中の界面での表面ポテンシャルの導出 / p126 (0071.jp2)
  40. 付録の参考文献 / p127 (0071.jp2)
  41. 謝辞 / p129 (0072.jp2)
  42. 研究業績目録 / p130 (0073.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000131167
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000965858
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000295481
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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