A study on the charging mechanisms of electrically insulated substrates in negative-ion implantation 負イオン注入における絶縁基板の帯電メカニズムに関する研究

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著者

    • 豊田, 啓孝 トヨタ, ヨシタカ

書誌事項

タイトル

A study on the charging mechanisms of electrically insulated substrates in negative-ion implantation

タイトル別名

負イオン注入における絶縁基板の帯電メカニズムに関する研究

著者名

豊田, 啓孝

著者別名

トヨタ, ヨシタカ

学位授与大学

京都大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第6444号

学位授与年月日

1996-03-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. Contents / p9 (0009.jp2)
  3. Abstract / p1 (0005.jp2)
  4. Acknowledgments / p3 (0006.jp2)
  5. List of Symbols / p5 (0007.jp2)
  6. 1 Introduction / p1 (0010.jp2)
  7. 1.1 Ion implantation in semiconductor fabrication / p1 (0010.jp2)
  8. 1.2 Negative-ion implantation / p5 (0012.jp2)
  9. 1.3 Research objectives / p10 (0015.jp2)
  10. 2 Negative-Ion-Induced Secondary Electrons / p13 (0016.jp2)
  11. 2.1 Introduction / p13 (0016.jp2)
  12. 2.2 Secondary-electron emission phenomenon / p14 (0017.jp2)
  13. 2.3 Yield measurement / p20 (0020.jp2)
  14. 2.4 Energy distribution measurement / p38 (0029.jp2)
  15. 2.5 Discussion / p56 (0038.jp2)
  16. 2.6 Summary / p59 (0039.jp2)
  17. 3 The Charging Mechanism of Isolated Electrodes in Negative-ion implantation / p61 (0040.jp2)
  18. 3.1 Introduction / p61 (0040.jp2)
  19. 3.2 Charging voltage measurement / p62 (0041.jp2)
  20. 3.3 Modelling of negative-ion-implanted isolated electrodes / p73 (0046.jp2)
  21. 3.4 Discussion / p78 (0049.jp2)
  22. 3.5 Summary / p83 (0051.jp2)
  23. 4 The Charging Mechanism of Insulating Materials in Negative-Ion Implantation / p87 (0053.jp2)
  24. 4.1 Introduction / p87 (0053.jp2)
  25. 4.2 Charging voltage estimation by secondary electron energy analysis / p88 (0054.jp2)
  26. 4.3 Charging voltage during negative-ion implantation / p93 (0056.jp2)
  27. 4.4 Modelling of negative-ion-implanted insulating materials / p99 (0059.jp2)
  28. 4.5 Discussion / p105 (0062.jp2)
  29. 4.6 Summary / p113 (0066.jp2)
  30. 5 Conclusions / p115 (0067.jp2)
  31. References / p119 (0069.jp2)
  32. List of Publications / p125 (0072.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000131168
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000965859
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000295482
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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