AlGaAs molecular beam epitaxial growth on (111) A GaAs substrate and device applications (111)A面GaAs基板上AlGaAs系分子線エピタキシャル成長とデバイス応用の研究

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著者

    • 山本, 悌二 ヤマモト, テイジ

書誌事項

タイトル

AlGaAs molecular beam epitaxial growth on (111) A GaAs substrate and device applications

タイトル別名

(111)A面GaAs基板上AlGaAs系分子線エピタキシャル成長とデバイス応用の研究

著者名

山本, 悌二

著者別名

ヤマモト, テイジ

学位授与大学

京都大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第9185号

学位授与年月日

1996-03-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. 目次 / p5 (0009.jp2)
  3. 第1章 序論 / p9 (0011.jp2)
  4. 1-1 研究動向 / p9 (0011.jp2)
  5. 1-2(111)A面GaAs基板への分子線エピタキシャル(MBE)成長の現状と課題 / p10 (0012.jp2)
  6. 1-3 本論文の構成 / p11 (0012.jp2)
  7. 1-4 MBE成長装置機構 / p13 (0013.jp2)
  8. 参考文献 / p13 (0013.jp2)
  9. 第2章(111)A面GaAs基板上の表面処理法と表面モホロジー / p15 (0014.jp2)
  10. 2-1 はじめに / p15 (0014.jp2)
  11. 2-2 As過剰面と成長表面 / p17 (0015.jp2)
  12. 2-3 鏡面成長条件 / p42 (0028.jp2)
  13. 2-4 まとめ / p51 (0032.jp2)
  14. 参考文献 / p53 (0033.jp2)
  15. 第3章(111)A面GaAsへのSi,SeドープGaAsの成長 / p55 (0034.jp2)
  16. 3-1 はじめに / p55 (0034.jp2)
  17. 3-2 SiドープGaAs、A1GaAsオフ基板依存性 / p57 (0035.jp2)
  18. 3-3 SeドーピングGaAsの成長 / p85 (0049.jp2)
  19. 3-4 まとめ / p98 (0056.jp2)
  20. 参考文献 / p102 (0058.jp2)
  21. 第4章(111)A面上の六方晶系A1Asの成長 / p104 (0059.jp2)
  22. 4-1 はじめに / p104 (0059.jp2)
  23. 4-2 オフ基板依存性 / p106 (0060.jp2)
  24. 4-3 成長条件依存性 / p118 (0066.jp2)
  25. 4-4 電気的光学的特性 / p129 (0071.jp2)
  26. 4-5 まとめ / p132 (0073.jp2)
  27. 参考論文 / p133 (0073.jp2)
  28. 第5章 GaAs/AIGaAsヘテロ界面の作製 / p134 (0074.jp2)
  29. 5-1 はじめに / p134 (0074.jp2)
  30. 5-2(111)A面上へのAlGaAs/GaAs単一量子井戸 / p137 (0075.jp2)
  31. 5-3 A1GaAsの組成偏析現象 / p150 (0082.jp2)
  32. 5-4 まとめ / p164 (0089.jp2)
  33. 参考文献 / p166 (0090.jp2)
  34. 第6章 横方向p-n接合とその応用 / p167 (0090.jp2)
  35. 6-1 はじめに / p167 (0090.jp2)
  36. 6-2 横方向p-n接合の実現と接合特性 / p171 (0092.jp2)
  37. 6-3 横方向サブバンドp-n接合(LSJ)の提案 / p188 (0101.jp2)
  38. 6-4 LSJ構造の検証 / p193 (0103.jp2)
  39. 6-5 LSJでのトンネル電流の増大効果 / p204 (0109.jp2)
  40. 6-6 まとめ / p212 (0113.jp2)
  41. 参考文献 / p213 (0113.jp2)
  42. 第7章 結論 / p215 (0114.jp2)
  43. 謝辞 / p218 (0116.jp2)
  44. 論文リスト / p219 (0116.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000131267
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000965952
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000295581
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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