分析電子顕微鏡による接合界面の構造および拡散の研究

この論文をさがす

著者

    • 渡辺, 万三志 ワタナベ, マサシ

書誌事項

タイトル

分析電子顕微鏡による接合界面の構造および拡散の研究

著者名

渡辺, 万三志

著者別名

ワタナベ, マサシ

学位授与大学

九州大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第3754号

学位授与年月日

1996-03-27

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0019.jp2)
  3. 1.1 研究の背景 / p1 (0019.jp2)
  4. 1.2 本研究の概要 / p9 (0027.jp2)
  5. 第2章 AEMによる薄膜試料のX線定量分析法とその問題点 / p11 (0029.jp2)
  6. 2.1 緒言 / p11 (0029.jp2)
  7. 2.2 薄膜試料におけるX線の発生とその相互作用 / p12 (0030.jp2)
  8. 2.3 薄膜近似による定量分析 / p18 (0036.jp2)
  9. 2.4 薄膜試料における特性X線の吸収および蛍光補正 / p22 (0040.jp2)
  10. 2.5 小括 / p40 (0058.jp2)
  11. 第3章 AEMによる低エネルギー特性X線の質量吸収係数の決定 / p41 (0059.jp2)
  12. 3.1 緒言 / p41 (0059.jp2)
  13. 3.2 質量吸収係数決定の原理 / p43 (0061.jp2)
  14. 3.3 解析方法 / p44 (0062.jp2)
  15. 3.4 実験方法 / p47 (0065.jp2)
  16. 3.5 結果 / p48 (0066.jp2)
  17. 3.6 考察 / p54 (0072.jp2)
  18. 3.7 小括 / p60 (0078.jp2)
  19. 第4章 X線強度-膜厚変換係数(ζ係数)を導入したX線吸収差(ζ-DXA)法の提案とk因子決定 / p61 (0079.jp2)
  20. 4.1 緒言 / p61 (0079.jp2)
  21. 4.2 ζ-DXA法の原理 / p62 (0080.jp2)
  22. 4.3 ζ-DXA法によるk因子およびζ係数の決定 / p64 (0082.jp2)
  23. 4.4 実験方法 / p67 (0085.jp2)
  24. 4.5 結果 / p68 (0086.jp2)
  25. 4.6 考察 / p76 (0094.jp2)
  26. 4.7 小括 / p83 (0101.jp2)
  27. 第5章 ζ-DXA法のNi-Al2元合金およびTi-Al-Cr3元合金の相分析への応用 / p84 (0102.jp2)
  28. 5.1 緒言 / p84 (0102.jp2)
  29. 5.2 ζ-DXA法による濃度未知試料の組成および膜厚決定 / p85 (0103.jp2)
  30. 5.3 実験方法 / p88 (0106.jp2)
  31. 5.4 結果 / p89 (0107.jp2)
  32. 5.5 考察 / p105 (0123.jp2)
  33. 5.6 小括 / p110 (0128.jp2)
  34. 第6章 拡散対薄膜試料の作製法の改良 / p111 (0129.jp2)
  35. 6.1 緒言 / p111 (0129.jp2)
  36. 6.2 拡散対薄膜試料作製法の改善-その1 / p113 (0131.jp2)
  37. 6.3 拡散対薄膜試料作製法の改善-その2 / p116 (0134.jp2)
  38. 6.4 小括 / p120 (0138.jp2)
  39. 第7章 Ni-Ge系における相互拡散係数測定と界面観察 / p121 (0139.jp2)
  40. 7.1 緒言 / p121 (0139.jp2)
  41. 7.2 実験方法 / p122 (0140.jp2)
  42. 7.3 結果 / p124 (0142.jp2)
  43. 7.4 考察 / p136 (0154.jp2)
  44. 7.5 小括 / p139 (0157.jp2)
  45. 第8章 Ni-Al系におけるγ,γ′およびβ相中の相互拡散係数の測定 / p140 (0158.jp2)
  46. 8.1 緒言 / p140 (0158.jp2)
  47. 8.2 実験方法 / p141 (0159.jp2)
  48. 8.3 結果 / p149 (0167.jp2)
  49. 8.4 考察 / p174 (0192.jp2)
  50. 8.5 小括 / p194 (0212.jp2)
  51. 第9章 Ni-Al系拡散対における異相界面の移動形態の観察 / p195 (0213.jp2)
  52. 9.1 緒言 / p195 (0213.jp2)
  53. 9.2 組織観察結果 / p196 (0214.jp2)
  54. 9.3 考察 / p227 (0245.jp2)
  55. 9.4 小括 / p255 (0273.jp2)
  56. 第10章 L1₂型およびB2型金属間化合物中の拡散係数の評価 / p256 (0274.jp2)
  57. 10.1 緒言 / p256 (0274.jp2)
  58. 10.2 相互拡散係数と自己拡散係数との関係 / p257 (0275.jp2)
  59. 10.3 Ni固溶体中の拡散係数の評価 / p257 (0275.jp2)
  60. 10.4 L1₂型Ni₃Ge中のΦの評価 / p258 (0276.jp2)
  61. 10.5 L1₂型Ni₃Al中の拡散係数の評価 / p259 (0277.jp2)
  62. 10.6 B2型NiAl中の拡散係数の評価 / p260 (0278.jp2)
  63. 10.7 小括 / p265 (0283.jp2)
  64. 第11章 総括 / p266 (0284.jp2)
  65. 11.1 AEMによる低エネルギー特性X線の質量吸収係数の決定に関して / p266 (0284.jp2)
  66. 11.2 X線強度-膜厚変換係数(ζ係数)を導入したX線吸収差(ζ-DXA)法の提案とk因子決定に関して / p267 (0285.jp2)
  67. 11.3 ζ-DXA法のNi-Al 2元合金およびTi-Al-Cr 3元合金の相分析への応用に関して / p268 (0286.jp2)
  68. 11.4 拡散対薄膜試料の作製法の改良に関して / p268 (0286.jp2)
  69. 11.5 Ni-Ge系における相互拡散係数測定と界面観察に関して / p269 (0287.jp2)
  70. 11.6 Ni-Al系におけるγ,γ′およびβ相中の相互拡散係数の測定に関して / p270 (0288.jp2)
  71. 11.7 Ni-Al系拡散対における異相界面の移動形態の観察に関して / p271 (0289.jp2)
  72. 11.8 L1₂型およびB2型金属間化合物中の拡散係数の評価に関して / p272 (0290.jp2)
  73. 11.9 今後の展望 / p273 (0291.jp2)
  74. 参考文献 / p275 (0293.jp2)
  75. 謝辞 / p290 (0308.jp2)
0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000131514
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000966185
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000295828
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ