分析電子顕微鏡による接合界面の構造および拡散の研究
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Bibliographic Information
- Title
-
分析電子顕微鏡による接合界面の構造および拡散の研究
- Author
-
渡辺, 万三志
- Author(Another name)
-
ワタナベ, マサシ
- University
-
九州大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第3754号
- Degree year
-
1996-03-27
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0019.jp2)
- 1.1 研究の背景 / p1 (0019.jp2)
- 1.2 本研究の概要 / p9 (0027.jp2)
- 第2章 AEMによる薄膜試料のX線定量分析法とその問題点 / p11 (0029.jp2)
- 2.1 緒言 / p11 (0029.jp2)
- 2.2 薄膜試料におけるX線の発生とその相互作用 / p12 (0030.jp2)
- 2.3 薄膜近似による定量分析 / p18 (0036.jp2)
- 2.4 薄膜試料における特性X線の吸収および蛍光補正 / p22 (0040.jp2)
- 2.5 小括 / p40 (0058.jp2)
- 第3章 AEMによる低エネルギー特性X線の質量吸収係数の決定 / p41 (0059.jp2)
- 3.1 緒言 / p41 (0059.jp2)
- 3.2 質量吸収係数決定の原理 / p43 (0061.jp2)
- 3.3 解析方法 / p44 (0062.jp2)
- 3.4 実験方法 / p47 (0065.jp2)
- 3.5 結果 / p48 (0066.jp2)
- 3.6 考察 / p54 (0072.jp2)
- 3.7 小括 / p60 (0078.jp2)
- 第4章 X線強度-膜厚変換係数(ζ係数)を導入したX線吸収差(ζ-DXA)法の提案とk因子決定 / p61 (0079.jp2)
- 4.1 緒言 / p61 (0079.jp2)
- 4.2 ζ-DXA法の原理 / p62 (0080.jp2)
- 4.3 ζ-DXA法によるk因子およびζ係数の決定 / p64 (0082.jp2)
- 4.4 実験方法 / p67 (0085.jp2)
- 4.5 結果 / p68 (0086.jp2)
- 4.6 考察 / p76 (0094.jp2)
- 4.7 小括 / p83 (0101.jp2)
- 第5章 ζ-DXA法のNi-Al2元合金およびTi-Al-Cr3元合金の相分析への応用 / p84 (0102.jp2)
- 5.1 緒言 / p84 (0102.jp2)
- 5.2 ζ-DXA法による濃度未知試料の組成および膜厚決定 / p85 (0103.jp2)
- 5.3 実験方法 / p88 (0106.jp2)
- 5.4 結果 / p89 (0107.jp2)
- 5.5 考察 / p105 (0123.jp2)
- 5.6 小括 / p110 (0128.jp2)
- 第6章 拡散対薄膜試料の作製法の改良 / p111 (0129.jp2)
- 6.1 緒言 / p111 (0129.jp2)
- 6.2 拡散対薄膜試料作製法の改善-その1 / p113 (0131.jp2)
- 6.3 拡散対薄膜試料作製法の改善-その2 / p116 (0134.jp2)
- 6.4 小括 / p120 (0138.jp2)
- 第7章 Ni-Ge系における相互拡散係数測定と界面観察 / p121 (0139.jp2)
- 7.1 緒言 / p121 (0139.jp2)
- 7.2 実験方法 / p122 (0140.jp2)
- 7.3 結果 / p124 (0142.jp2)
- 7.4 考察 / p136 (0154.jp2)
- 7.5 小括 / p139 (0157.jp2)
- 第8章 Ni-Al系におけるγ,γ′およびβ相中の相互拡散係数の測定 / p140 (0158.jp2)
- 8.1 緒言 / p140 (0158.jp2)
- 8.2 実験方法 / p141 (0159.jp2)
- 8.3 結果 / p149 (0167.jp2)
- 8.4 考察 / p174 (0192.jp2)
- 8.5 小括 / p194 (0212.jp2)
- 第9章 Ni-Al系拡散対における異相界面の移動形態の観察 / p195 (0213.jp2)
- 9.1 緒言 / p195 (0213.jp2)
- 9.2 組織観察結果 / p196 (0214.jp2)
- 9.3 考察 / p227 (0245.jp2)
- 9.4 小括 / p255 (0273.jp2)
- 第10章 L1₂型およびB2型金属間化合物中の拡散係数の評価 / p256 (0274.jp2)
- 10.1 緒言 / p256 (0274.jp2)
- 10.2 相互拡散係数と自己拡散係数との関係 / p257 (0275.jp2)
- 10.3 Ni固溶体中の拡散係数の評価 / p257 (0275.jp2)
- 10.4 L1₂型Ni₃Ge中のΦの評価 / p258 (0276.jp2)
- 10.5 L1₂型Ni₃Al中の拡散係数の評価 / p259 (0277.jp2)
- 10.6 B2型NiAl中の拡散係数の評価 / p260 (0278.jp2)
- 10.7 小括 / p265 (0283.jp2)
- 第11章 総括 / p266 (0284.jp2)
- 11.1 AEMによる低エネルギー特性X線の質量吸収係数の決定に関して / p266 (0284.jp2)
- 11.2 X線強度-膜厚変換係数(ζ係数)を導入したX線吸収差(ζ-DXA)法の提案とk因子決定に関して / p267 (0285.jp2)
- 11.3 ζ-DXA法のNi-Al 2元合金およびTi-Al-Cr 3元合金の相分析への応用に関して / p268 (0286.jp2)
- 11.4 拡散対薄膜試料の作製法の改良に関して / p268 (0286.jp2)
- 11.5 Ni-Ge系における相互拡散係数測定と界面観察に関して / p269 (0287.jp2)
- 11.6 Ni-Al系におけるγ,γ′およびβ相中の相互拡散係数の測定に関して / p270 (0288.jp2)
- 11.7 Ni-Al系拡散対における異相界面の移動形態の観察に関して / p271 (0289.jp2)
- 11.8 L1₂型およびB2型金属間化合物中の拡散係数の評価に関して / p272 (0290.jp2)
- 11.9 今後の展望 / p273 (0291.jp2)
- 参考文献 / p275 (0293.jp2)
- 謝辞 / p290 (0308.jp2)