非晶質シリコンの構造緩和および結晶化に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
非晶質シリコンの構造緩和および結晶化に関する研究
- Author
-
廣山, 雄一
- Author(Another name)
-
ヒロヤマ, ユウイチ
- University
-
九州大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第3757号
- Degree year
-
1996-03-27
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
- 1.1 研究の背景 / p1 (0005.jp2)
- 1.2 非晶質シリコンの構造と物性 / p5 (0009.jp2)
- 1.3 非晶質シリコンの構造緩和と結晶化過程 / p7 (0011.jp2)
- 1.4 測定法 / p9 (0013.jp2)
- 1.5 本研究の目的 / p23 (0027.jp2)
- 1.6 論文の構成 / p23 (0027.jp2)
- 第1章参考文献 / p24 (0028.jp2)
- 第2章 イオン注入a-Siの構造緩和 / p27 (0031.jp2)
- 2.1 序論 / p27 (0031.jp2)
- 2.2 実験 / p28 (0032.jp2)
- 2.3 結果と考察 / p35 (0039.jp2)
- 2.4 結論 / p52 (0056.jp2)
- 第2章参考文献 / p53 (0057.jp2)
- 第3章 気相堆積及び蒸着非晶質シリコンの構造緩和 / p54 (0058.jp2)
- 3.1 序論 / p54 (0058.jp2)
- 3.2 実験 / p54 (0058.jp2)
- 3.3 結果と考察 / p59 (0063.jp2)
- 3.4 結論 / p71 (0075.jp2)
- 第3章参考文献 / p72 (0076.jp2)
- 第4章 水素化と構造緩和 / p74 (0078.jp2)
- 4.1 序論 / p74 (0078.jp2)
- 4.2 実験 / p75 (0079.jp2)
- 4.3 結果と考察 / p77 (0081.jp2)
- 4.4 結論 / p90 (0094.jp2)
- 第4章参考文献 / p91 (0095.jp2)
- 第5章 a-Siの結晶化における空孔型欠陥の影響 / p92 (0096.jp2)
- 5.1 序論 / p92 (0096.jp2)
- 5.2 実験 / p93 (0097.jp2)
- 5.3 結果と考察 / p94 (0098.jp2)
- 5.4 結論 / p105 (0109.jp2)
- 第5章参考文献 / p106 (0110.jp2)
- 第6章 結論 / p107 (0111.jp2)
- 付録 / p109 (0113.jp2)
- 謝辞 / p113 (0117.jp2)
- 研究業績一覧 / p114 (0118.jp2)