レーザーCVD法によるモリブデン膜およびタンタル酸化物膜の作製に関する研究

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著者

    • 渡邊, 昭雄 ワタナベ, アキオ

書誌事項

タイトル

レーザーCVD法によるモリブデン膜およびタンタル酸化物膜の作製に関する研究

著者名

渡邊, 昭雄

著者別名

ワタナベ, アキオ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第4953号

学位授与年月日

1996-03-01

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 緒言 / p1 (0005.jp2)
  3. 第2章 炭酸ガスレーザーCVD法によるMo(CO)₆の光分解と成膜 / p5 (0007.jp2)
  4. 2.1 はじめに / p5 (0007.jp2)
  5. 2.2 実験方法 / p6 (0008.jp2)
  6. 2.3 実験結果と考察 / p10 (0010.jp2)
  7. 2.4 結論 / p31 (0020.jp2)
  8. 第3章 KrFエキシマレーザーによるMo(CO)₆の光分解と成膜 / p33 (0021.jp2)
  9. 3.1 はじめに / p33 (0021.jp2)
  10. 3.2 実験方法 / p34 (0022.jp2)
  11. 3.3 結果と考察 / p36 (0023.jp2)
  12. 3.4 結論 / p55 (0032.jp2)
  13. 第4章 KrFエキシマレーザーCVDによって作製したタンタル酸化物膜の結晶構造と形態 / p57 (0033.jp2)
  14. 4.1 はじめに / p57 (0033.jp2)
  15. 4.2 実験方法 / p59 (0034.jp2)
  16. 4.3 結果と考察 / p61 (0035.jp2)
  17. 4.4 結論 / p92 (0051.jp2)
  18. 第5章 KrFエキシマレーザーCVDによって作製したタンタル酸化物膜の非化学量論性 / p93 (0051.jp2)
  19. 5.1 はじめに / p93 (0051.jp2)
  20. 5.2 実験方法 / p94 (0052.jp2)
  21. 5.3 結果と考察 / p96 (0053.jp2)
  22. 5.4 結論 / p107 (0058.jp2)
  23. 第6章 析出タンタル酸化物膜のマイクロ波放電による化学量論性の改善 / p109 (0059.jp2)
  24. 6.1 はじめに / p109 (0059.jp2)
  25. 6.2 実験方法 / p109 (0059.jp2)
  26. 6.3 結果と考察 / p112 (0061.jp2)
  27. 6.4 結論 / p122 (0066.jp2)
  28. 第7章 総括 / p124 (0067.jp2)
  29. [付録] / p127 (0068.jp2)
  30. 引用文献 / p130 (0070.jp2)
  31. 発表論文 / p136 (0073.jp2)
  32. 謝辞 / p138 (0074.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000131925
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000966552
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000296239
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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