分子線エピタキシ法を用いた化合物半導体ヘテロ成長機構と格子歪緩和

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著者

    • 吉川, 昌宏 ヨシカワ, マサヒロ

書誌事項

タイトル

分子線エピタキシ法を用いた化合物半導体ヘテロ成長機構と格子歪緩和

著者名

吉川, 昌宏

著者別名

ヨシカワ, マサヒロ

学位授与大学

静岡大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第127号

学位授与年月日

1996-03-23

注記・抄録

博士論文

doctoral

電子科学研究科

甲第127号

目次

  1. 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
  2. 1.1 はじめに / p1 (0007.jp2)
  3. 1.2 量子構造 / p1 (0007.jp2)
  4. 1.3 ヘテロ成長技術 / p2 (0008.jp2)
  5. 1.4 格子歪緩和モデル / p4 (0009.jp2)
  6. 1.5 本論文の目的 / p8 (0011.jp2)
  7. 参考文献 / p9 (0011.jp2)
  8. 第2章 MBE法とSPA法 / p12 (0013.jp2)
  9. 2.1 はじめに / p12 (0013.jp2)
  10. 2.2 MBEシステム / p12 (0013.jp2)
  11. 2.3 MBE装置 / p14 (0014.jp2)
  12. 2.4 基板温度の制御 / p15 (0014.jp2)
  13. 2.5 分子線源 / p16 (0015.jp2)
  14. 2.6 シャッター制御 / p24 (0019.jp2)
  15. 2.7 RHEEDパターンの解析法 / p25 (0019.jp2)
  16. 2.8 SPA法 / p31 (0022.jp2)
  17. 2.9 まとめ / p35 (0024.jp2)
  18. 参考文献 / p35 (0024.jp2)
  19. 第3章 表面再構成構造と表面ストイキオメトリ / p37 (0025.jp2)
  20. 3.1 はじめに / p37 (0025.jp2)
  21. 3.2 SPA測定装置 / p37 (0025.jp2)
  22. 3.3 GaAs(001)表面 / p38 (0026.jp2)
  23. 3.4 GaP(001)表面 / p49 (0031.jp2)
  24. 3.5 まとめ / p65 (0039.jp2)
  25. 参考文献 / p65 (0039.jp2)
  26. 第4章 成長モード遷移前の格子歪緩和過程 / p67 (0040.jp2)
  27. 4.1 はじめに / p67 (0040.jp2)
  28. 4.2 弾性緩和モデル / p67 (0040.jp2)
  29. 4.3 実験方法 / p69 (0041.jp2)
  30. 4.4 2次元層成長中における格子歪緩和 / p69 (0041.jp2)
  31. 4.5 MEE法によるヘテロ成長 / p73 (0043.jp2)
  32. 4.6 まとめ / p78 (0046.jp2)
  33. 参考文献 / p78 (0046.jp2)
  34. 第5章 GaAs/GaP(001)ヘテロ成長における成長モード遷移 / p80 (0047.jp2)
  35. 5.1 はじめに / p80 (0047.jp2)
  36. 5.2 格子不整合系における成長モード遷移 / p80 (0047.jp2)
  37. 5.3 実験方法 / p81 (0047.jp2)
  38. 5.4 GaAs/GaPヘテロ成長初期過程 / p81 (0047.jp2)
  39. 5.5 ヘテロ成長過程と基板温度 / p89 (0051.jp2)
  40. 5.6 成長モード遷移付近における成長機構 / p97 (0055.jp2)
  41. 5.7 まとめ / p100 (0057.jp2)
  42. 参考文献 / p100 (0057.jp2)
  43. 第6章 結論 / p102 (0058.jp2)
  44. 6.1 GaP(001)表面 / p102 (0058.jp2)
  45. 6.2 2次元層成長中の格子歪緩和過程 / p103 (0058.jp2)
  46. 6.3 ヘテロ成長機構 / p103 (0058.jp2)
  47. 6.4 結言 / p104 (0059.jp2)
  48. 謝辞 / p106 (0060.jp2)
  49. 研究業績一覧 / p107 (0060.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000132028
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000966653
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000296342
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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