重力の効果を用いた半導体結晶の液相成長に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
重力の効果を用いた半導体結晶の液相成長に関する研究
- Author
-
金井, 宏
- Author(Another name)
-
カナイ, ヒロシ
- University
-
静岡大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第140号
- Degree year
-
1996-03-23
Note and Description
博士論文
doctoral
電子科学研究科
甲第140号
Table of Contents
- 目次 / p5 (0005.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
- 1.1 緒言 / p1 (0007.jp2)
- 1.2 本論文の構成 / p3 (0008.jp2)
- 第2章 yo-yo溶質供給法の最適条件 / p7 (0010.jp2)
- 2.1 緒言 / p7 (0010.jp2)
- 2.2 yo-yo溶質供給法の成長原理 / p8 (0011.jp2)
- 2.3 yo-yo溶質供給法によるSi液相成長の実験方法 / p10 (0012.jp2)
- 2.4 実験結果及び考察 / p13 (0013.jp2)
- 2.5 まとめ / p18 (0016.jp2)
- 第3章 徐冷法によるSi液相成長の重力効果 / p21 (0017.jp2)
- 3.1 緒言 / p21 (0017.jp2)
- 3.2 徐冷法によるSi液相成長の実験方法 / p22 (0018.jp2)
- 3.3 実験結果及び考察 / p26 (0020.jp2)
- 3.4 まとめ / p40 (0027.jp2)
- 第4章 Ga溶媒を用いたSi液相成長における重力効果 / p43 (0028.jp2)
- 4.1 緒言 / p43 (0028.jp2)
- 4.2 徐冷法によるSi液相成長の実験方法 / p44 (0029.jp2)
- 4.3 実験結果及び考察 / p46 (0030.jp2)
- 4.4 まとめ / p50 (0032.jp2)
- 第5章 Si液相成長の数値解析 / p55 (0034.jp2)
- 5.1 緒言 / p55 (0034.jp2)
- 5.2 無次元数についての考察 / p55 (0034.jp2)
- 5.3 数値解析モデル / p58 (0036.jp2)
- 5.4 数値解析の結果と考察 / p63 (0038.jp2)
- 5.5 まとめ / p70 (0042.jp2)
- 第6章 GaAs液相成長における重力効果 / p75 (0044.jp2)
- 6.1 緒言 / p75 (0044.jp2)
- 6.2 実験方法 / p76 (0045.jp2)
- 6.3 実験結果と考察 / p83 (0048.jp2)
- 6.4 まとめ / p91 (0052.jp2)
- 第7章 GaSb液相成長における重力効果 / p95 (0054.jp2)
- 7.1 緒言 / p95 (0054.jp2)
- 7.2 徐冷成長､溶解実験の方法 / p97 (0055.jp2)
- 7.3 実験結果と考察 / p100 (0057.jp2)
- 7.4 まとめ / p104 (0059.jp2)
- 第8章 結論 / p107 (0060.jp2)
- 謝辞 / p113 (0063.jp2)
- 研究業績目録 / p114 (0064.jp2)