薄膜トランジスタ特性最適化による液晶表示装置の大型高精細化に関する研究 hakumaku toranjisuta tokusei saitekika ni yoru ekisho hyoji sochi no ogata koseisaika ni kansuru kenkyu

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著者

    • 内古閑, 修一 ウチコガ, シュウイチ

書誌事項

タイトル

薄膜トランジスタ特性最適化による液晶表示装置の大型高精細化に関する研究

タイトル別名

hakumaku toranjisuta tokusei saitekika ni yoru ekisho hyoji sochi no ogata koseisaika ni kansuru kenkyu

著者名

内古閑, 修一

著者別名

ウチコガ, シュウイチ

学位授与大学

早稲田大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第1148号

学位授与年月日

1995-12-07

注記・抄録

博士論文

制度:新 ; 文部省報告番号:乙1148号 ; 学位の種類:博士(工学) ; 授与年月日:1995-12-07 ; 早大学位記番号:新2246 ; 理工学図書館請求番号:1920

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / 1-1 / (0006.jp2)
  3. 1-1.背景 / 1-1 / (0006.jp2)
  4. 1-2.液晶表示装置LCD概要説明 / 1-3 / (0007.jp2)
  5. 1-3.薄膜トランジスタ(TFT)概要説明 / 1-8 / (0012.jp2)
  6. 1-4.大型高精細化への課題 / 1-14 / (0017.jp2)
  7. 1-5.本研究の目的 / 1-17 / (0019.jp2)
  8. 1-6.本研究の内容 / 1-18 / (0020.jp2)
  9. 参考文献 / 1-19 / (0020.jp2)
  10. 第2章 自己整合型TFTの開発 / 2-1 / (0022.jp2)
  11. 2-1.自己整合型TFTの利点と問題点 / 2-1 / (0022.jp2)
  12. 2-2.コンタクト領域縮小による特性劣化 / 2-4 / (0024.jp2)
  13. 2-3.裏面露光プロセスの開発 / 2-14 / (0033.jp2)
  14. 2-4.裏面露光の数値的シミュレーション / 2-18 / (0037.jp2)
  15. 2-5.自己整合型TFTに用いるΔLの決定方法 / 2-30 / (0046.jp2)
  16. 2-6.結論 / 2-32 / (0047.jp2)
  17. 参考文献 / 2-33 / (0047.jp2)
  18. 第3章 ソース電極構造の最適化 / 3-1 / (0049.jp2)
  19. 3-1.序論 / 3-1 / (0049.jp2)
  20. 3-2.チャネル保護層上のソース電極によるドレイン電流減少効果 / 3-3 / (0051.jp2)
  21. 3-3.[数式]によるチャネル内キャリア濃度分布の変調効果 / 3-5 / (0054.jp2)
  22. 3-4.ソース電極構造による抵抗成分 / 3-12 / (0059.jp2)
  23. 3-5.チャネル保護層上の電極構造の設計指針 / 3-15 / (0062.jp2)
  24. 3-6.結論 / 3-16 / (0062.jp2)
  25. 参考文献 / 3-17 / (0063.jp2)
  26. 第4章 TFT特性のパッシベーション膜質依存性 / 4-1 / (0065.jp2)
  27. 4-1.背景 / 4-1 / (0065.jp2)
  28. 4-2.パッシベーション膜質の成膜条件依存性 / 4-4 / (0067.jp2)
  29. 4-3.TFT保持特性のパッシベーション膜質依存性 / 4-7 / (0071.jp2)
  30. 4-4.LCDにおけるパッシベーション膜の選択指針 / 4-13 / (0075.jp2)
  31. 4-5.結論 / 4-14 / (0076.jp2)
  32. 参考文献 / 4-15 / (0077.jp2)
  33. 第5章 大型高精細LCDの試作 / 5-1 / (0079.jp2)
  34. 5-1.背景 / 5-1 / (0079.jp2)
  35. 5-2.ゲート線抵抗と開口率との相関 / 5-3 / (0080.jp2)
  36. 5-3.開口率30%を達成するTFT構造の決定方法 / 5-5 / (0081.jp2)
  37. 5-4.自己整合型TFTの有効性 / 5-6 / (0082.jp2)
  38. 5-5.13.8インチ大型高精細TFT-LCDの試作 / 5-10 / (0085.jp2)
  39. 5-6.結論 / 5-13 / (0088.jp2)
  40. 参考文献 / 5-14 / (0089.jp2)
  41. 第6章 結論 / 6-1 / (0091.jp2)
  42. 謝辞 / (0092.jp2)
  43. 研究業績目録 / (0094.jp2)
5アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000132458
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000967074
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000296772
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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