多元スパッタリング法による強誘電体薄膜の作製とその特性評価 tagen supattaringuho ni yoru kyoyudentai hakumaku no sakusei to sono tokusei hyoka

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著者

    • 眞岩, 宏司 マイワ, ヒロシ

書誌事項

タイトル

多元スパッタリング法による強誘電体薄膜の作製とその特性評価

タイトル別名

tagen supattaringuho ni yoru kyoyudentai hakumaku no sakusei to sono tokusei hyoka

著者名

眞岩, 宏司

著者別名

マイワ, ヒロシ

学位授与大学

早稲田大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第1151号

学位授与年月日

1995-12-07

注記・抄録

博士論文

制度:新 ; 文部省報告番号:乙1151号 ; 学位の種類:博士(工学) ; 授与年月日:1995/12/7 ; 早大学位記番号:新2249 ; 理工学図書館請求番号:1919

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目次

  1. <目次〉 / (0003.jp2)
  2. 1.緒言 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 はじめに / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 本研究の目的 / p2 (0006.jp2)
  5. 1.3 論文の概略 / p2 (0006.jp2)
  6. 1.4 本研究の背景 / p5 (0009.jp2)
  7. 2.実験方法 / p18 (0022.jp2)
  8. 2.1 成膜装置 / p18 (0022.jp2)
  9. 2.2 薄膜の評価 / p18 (0022.jp2)
  10. 3.多元スパッタリングで作製したPbTiO₃薄膜の結晶構造 / p25 (0029.jp2)
  11. 3.1 Pb-O系,La-O系,Ti-O系の薄膜の作製 / p25 (0029.jp2)
  12. 3.2 Pb/Ti入射比と各種基板上での結晶構造 / p28 (0032.jp2)
  13. 3.3 膜厚の変化に伴う結晶構造の変化 / p31 (0035.jp2)
  14. 3.4 鉛の再蒸発に関する熱力学的な考察 / p32 (0036.jp2)
  15. 4.多元スパッタリングで作製した(Pb,La)TiO₃薄膜の電気的特性 / p48 (0052.jp2)
  16. 4.1 (Pb,La)TiO₃を選択した理由 / p48 (0052.jp2)
  17. 4.2 RuO₂薄膜の作製とその電極としての特性 / p49 (0053.jp2)
  18. 4.3 各種基板上での(Pb,La)TiO₃薄膜の結晶構造と電気的特性 / p51 (0055.jp2)
  19. 4.4 電気的特性の膜厚依存性 / p54 (0058.jp2)
  20. 4.5 電気的特性の鉛含有量依存性 / p55 (0059.jp2)
  21. 4.6 疲労に伴う電気的特性の変化 / p58 (0062.jp2)
  22. 4.7 (Pb,La)TiO₃の組成と欠陥構造 / p59 (0063.jp2)
  23. 4.8 酸化ルテニウム上部電極の効果 / p62 (0066.jp2)
  24. 4.9 疲労した薄膜試料の回復 / p63 (0067.jp2)
  25. 4.10 疲労の機構に関する考察 / p66 (0070.jp2)
  26. 5.結論 / p112 (0116.jp2)
  27. 5.1 本研究の総括 / p112 (0116.jp2)
  28. 5.2 今後の展望と課題 / p116 (0120.jp2)
  29. 5.3 おわりに / p118 (0122.jp2)
  30. 謝辞 / p119 (0123.jp2)
  31. 参考文献 / p120 (0124.jp2)
  32. 研究業績 / p125 (0129.jp2)
7アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000132461
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000967077
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000296775
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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