アーク放電プラズマによるダイヤモンドの生成における塩素の効果に関する研究

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著者

    • 古滝, 敏郎 コタキ, トシロウ

書誌事項

タイトル

アーク放電プラズマによるダイヤモンドの生成における塩素の効果に関する研究

著者名

古滝, 敏郎

著者別名

コタキ, トシロウ

学位授与大学

青山学院大学

取得学位

博士 (理学)

学位授与番号

甲第52号

学位授与年月日

1996-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 プラズマの一般的性質とCVD法への適用 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 種々のダイヤモンド合成法とプラズマCVDによるダイヤモンドの合成 / p5 (0010.jp2)
  5. 1.3 ダイヤモンド膜のキャラクタリゼーション / p13 (0018.jp2)
  6. 1.4 本研究の目的および意義 / p15 (0020.jp2)
  7. 参考文献 / p19 (0024.jp2)
  8. 第2章 実験装置および実験方法 / p25 (0030.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p25 (0030.jp2)
  10. 2.2 試料 / p25 (0030.jp2)
  11. 2.3 実験装置 / p25 (0030.jp2)
  12. 2.4 実験方法 / p36 (0041.jp2)
  13. 2.4 第2章のまとめ / p41 (0046.jp2)
  14. 参考文献 / p42 (0047.jp2)
  15. 第3章 メタンを炭素源とするCVDダイヤモンドのキャラクタリゼーション / p44 (0049.jp2)
  16. 3.1 緒言 / p44 (0049.jp2)
  17. 3.2 実験 / p45 (0050.jp2)
  18. 3.3 結果および考察 / p46 (0051.jp2)
  19. 3.4 第3章のまとめ / p64 (0069.jp2)
  20. 参考文献 / p68 (0073.jp2)
  21. 第4章 プラズマジェットおよびマイクロ波放電プラズマによる四塩化炭素からのダイヤモンドの生成 / p71 (0076.jp2)
  22. 4.1 緒言 / p71 (0076.jp2)
  23. 4.2 実験 / p72 (0077.jp2)
  24. 4.3 結果および考察 / p75 (0080.jp2)
  25. 4.4 第4章のまとめ / p93 (0098.jp2)
  26. 参考文献 / p95 (0100.jp2)
  27. 第5章 プラズマジェットおよびマイクロ波放電プラズマによるベンゼンからのダイヤモンドの生成 / p98 (0103.jp2)
  28. 5.1 緒言 / p98 (0103.jp2)
  29. 5.2 実験 / p100 (0105.jp2)
  30. 5.3 結果および考察 / p102 (0107.jp2)
  31. 5.4 第5章のまとめ / p118 (0123.jp2)
  32. 参考文献 / p120 (0125.jp2)
  33. 第6章 プラズマジェットによるメタジクロロベンゼンからのダイヤモンドの生成-ベンゼンとの比較- / p123 (0128.jp2)
  34. 6.1 緒言 / p123 (0128.jp2)
  35. 6.2 実験 / p125 (0130.jp2)
  36. 6.3 結果および考察 / p125 (0130.jp2)
  37. 6.4 第6章のまとめ / p146 (0151.jp2)
  38. 参考文献 / p148 (0153.jp2)
  39. 第7章 総まとめ / p151 (0156.jp2)
  40. 謝辞 / p155 (0160.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000132516
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000967132
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000296830
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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