有機金属気相成長法による化合物半導体の生産技術に関する研究

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著者

    • 松本, 功 マツモト, コウ

書誌事項

タイトル

有機金属気相成長法による化合物半導体の生産技術に関する研究

著者名

松本, 功

著者別名

マツモト, コウ

学位授与大学

名古屋工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第97号

学位授与年月日

1996-03-15

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0002.jp2)
  2. 第1章 はじめに / p1 (0003.jp2)
  3. 1-1.はじめに / p1 (0003.jp2)
  4. 1-2.研究の背景;MOVPEの開発史 / p1 (0003.jp2)
  5. 1-3.本研究の論文構成 / p4 (0005.jp2)
  6. 第1章の参考文献 / p9 (0007.jp2)
  7. 第2章 MOVVPE装置の構成 / p11 (0008.jp2)
  8. 2-1.はじめに / p11 (0008.jp2)
  9. 2-2.装置構成と各部の構造 / p11 (0008.jp2)
  10. 第2章の参考文献 / p13 (0009.jp2)
  11. 第3章 流れと成長の関係 / p19 (0012.jp2)
  12. 3-1.はじめに / p19 (0012.jp2)
  13. 3-2.縦型リアクタ / p19 (0012.jp2)
  14. 3-3.水平型リアクタのスケーリング / p38 (0022.jp2)
  15. 3-4.第3章のまとめ / p48 (0027.jp2)
  16. 3-5.付録 / p48 (0027.jp2)
  17. 第3章の参考文献 / p56 (0031.jp2)
  18. 第4章 量産MOVPE装置 / p57 (0031.jp2)
  19. 4-1.はじめに / p57 (0031.jp2)
  20. 4-2.エピタキシャルコスト分析 / p59 (0032.jp2)
  21. 4-3.フェースダウン量産MOVPE装置 / p65 (0035.jp2)
  22. 4-4.第4章のまとめ / p77 (0041.jp2)
  23. 第4章の参考文献 / p77 (0041.jp2)
  24. 第5章 ヘテロ界面形成と量子井戸構造の成長 / p79 (0042.jp2)
  25. 5-1.はじめに / p79 (0042.jp2)
  26. 5-2. AlGaAs/GaAs量子井戸構造の成長 / p79 (0042.jp2)
  27. 5-3. InGaP/GaAs界面の制御と量子井戸構造の成長 / p93 (0049.jp2)
  28. 5-4.第5章のまとめ / p104 (0055.jp2)
  29. 5-5.付録:結晶成長のKosselモデル / p104 (0055.jp2)
  30. 第5章の参考文献 / p110 (0058.jp2)
  31. 第6章 原料ガス中の不純物の影響 / p113 (0059.jp2)
  32. 6-1.はじめに / p113 (0059.jp2)
  33. 6-2.AsH₃中のN型不純物の低減 / p113 (0059.jp2)
  34. 6-3.N型AlGaAsの100meVディープ発光と水分の関係 / p119 (0062.jp2)
  35. 6-4.第6章のまとめ / p133 (0069.jp2)
  36. 第6章の参考文献 / p133 (0069.jp2)
  37. 第7章 成長様式に及ぼす不純物の影響GaAsへのCdドーピング;不純物に誘起された核発生 / p135 (0070.jp2)
  38. 7-1.はじめに / p135 (0070.jp2)
  39. 7-2.実験 / p136 (0071.jp2)
  40. 7-3.結果と考察 / p136 (0071.jp2)
  41. 7-4.不純物に誘起された核発生があるときのドーピングモデル / p137 (0071.jp2)
  42. 7-5.第7章のまとめ / p140 (0073.jp2)
  43. 第7章の参考文献 / p150 (0078.jp2)
  44. 第8章 結論 / p151 (0078.jp2)
  45. 謝辞 / p153 (0079.jp2)
  46. 本研究に関する発表論文 / p155 (0080.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000133232
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000967797
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000297546
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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