シリコン中の点欠陥および不純物拡散に関する研究

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著者

    • 沖野, 隆久 オキノ, タカヒサ

書誌事項

タイトル

シリコン中の点欠陥および不純物拡散に関する研究

著者名

沖野, 隆久

著者別名

オキノ, タカヒサ

学位授与大学

九州工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第40号

学位授与年月日

1995-12-31

注記・抄録

博士論文

九州工業大学博士学位論文 学位記番号:工博乙第40号 学位授与年月日:平成7年12月31日

平成7年度

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 目次 / p1 (0003.jp2)
  3. 主な記号 / p4 (0006.jp2)
  4. 第1章 序章 / p6 (0008.jp2)
  5. 1-1 序言 / p6 (0008.jp2)
  6. 1-2 シリコンの表面酸化および不純物拡散 / p7 (0009.jp2)
  7. 1-3 シリコン中の不純物の拡散機構 / p11 (0013.jp2)
  8. 1-4 本研究の目的および意義 / p13 (0015.jp2)
  9. 1-5 本論文の構成 / p17 (0019.jp2)
  10. 1-6 第一章の文献 / p19 (0021.jp2)
  11. 第2章 空孔および格子間シリコン原子の拡散方程式 / p20 (0022.jp2)
  12. 2-1 緒言 / p20 (0022.jp2)
  13. 2-2 基礎方程式 / p22 (0024.jp2)
  14. 2-3 数値解析の結果 / p26 (0028.jp2)
  15. 2-4 近似解 / p35 (0037.jp2)
  16. 2-5 結言 / p38 (0040.jp2)
  17. 2-6 第二章の文献 / p41 (0043.jp2)
  18. 第3章 シリコン中の不純物拡散および積層欠陥 / p42 (0044.jp2)
  19. 3-1 緒言 / p42 (0044.jp2)
  20. 3-2 酸化増速拡散、酸化減速拡散および酸化積層欠陥実験の解析に用いる基礎方程式 / p44 (0046.jp2)
  21. 3-3 リンの酸化増速拡散実験 / p47 (0049.jp2)
  22. 3-4 アンチモンの酸化減速拡散実験 / p49 (0051.jp2)
  23. 3-5 酸化積層欠陥実験 / p50 (0052.jp2)
  24. 3-6 2時間3方程式解法 / p51 (0053.jp2)
  25. 3-7 結言 / p58 (0060.jp2)
  26. 3-8 付録 / p62 (0064.jp2)
  27. 3-9 第三章の文献 / p67 (0069.jp2)
  28. 第4章 シリコン中の不純物の酸化増速/減速拡散方程式 / p68 (0070.jp2)
  29. 4-1 緒言 / p68 (0070.jp2)
  30. 4-2 酸化増速/減速拡散方程式の解析方法論 / p69 (0071.jp2)
  31. 4-3 方法論1およびその解析結果 / p78 (0080.jp2)
  32. 4-4 方法論2およびその解析結果 / p84 (0086.jp2)
  33. 4-5 方法論3およびその解析結果 / p88 (0090.jp2)
  34. 4-6 結言 / p90 (0092.jp2)
  35. 4-7 第四章の文献 / p93 (0095.jp2)
  36. 第5章 シリコン中の空孔および格子間シリコン原子の挙動 / p94 (0096.jp2)
  37. 5-1 緒言 / p94 (0096.jp2)
  38. 5-2 酸化増速/減速拡散方程式の物理解の決定 / p95 (0097.jp2)
  39. 5-3 空孔および格子間シリコン原子の拡散係数と熱平衡濃度 / p98 (0100.jp2)
  40. 5-4 シリコンの自己拡散 / p105 (0107.jp2)
  41. 5-5 スワール欠陥 / p108 (0110.jp2)
  42. 5-6 結言 / p113 (0115.jp2)
  43. 5-7 付録 / p115 (0117.jp2)
  44. 5-8 第五章の文献 / p121 (0123.jp2)
  45. 第6章 総括 / p122 (0124.jp2)
  46. 著者の参考文献 / p126 (0128.jp2)
  47. 謝辞 / p128 (0130.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000133889
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000973085
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000298203
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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