シリコンの内周式精密研削切断に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
シリコンの内周式精密研削切断に関する研究
- Author
-
藤沢, 政泰
- Author(Another name)
-
フジサワ, マサヤス
- University
-
大阪大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
乙第6936号
- Degree year
-
1996-03-28
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 記号の説明 / p4 (0005.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
- 第1.1節 研究の動機と目的 / p1 (0007.jp2)
- 第1.2節 切断加上の研究員 / p3 (0008.jp2)
- 第1.3節 本研究の概要 / p7 (0010.jp2)
- 参考文献 / p10 (0012.jp2)
- 第2章 切断面うねり発生原因の解明 / p14 (0014.jp2)
- 第2.1節 研削作用の不均一性の影響 / p14 (0014.jp2)
- 2.1.1 研削抵抗の不均一性の測定 / p16 (0015.jp2)
- 2.1.2 砥石断面形状の井対称性の影響 / p22 (0018.jp2)
- 2.1.3 砥粒形状の不均一性の影響 / p24 (0019.jp2)
- 2.1.4 ツルーイングおよびドレッシングによる切断面のうねりの低減 / p32 (0023.jp2)
- 第2.2節 砥石ブレード振動の影響 / p35 (0024.jp2)
- 2.2.1 砥石ブレード振動の解析 / p35 (0024.jp2)
- 2.2.2 犯石ブレードのダイナミックコンプライアンス / p36 (0025.jp2)
- 2.2.3 砥石ブレード振動の切断面うねりへの影響 / p39 (0026.jp2)
- 第2.3節 切断面と砥石ブレードの間を流れる空気の影響 / p42 (0028.jp2)
- 2.3.1 切断面と砥石ブレードの間に流れる空気の圧力の解析 / p42 (0028.jp2)
- 2.3.2 空気圧による砥石ブレードの変形 / p49 (0031.jp2)
- 第2.4節 切断面と砥石ブレードの間を流れるクーラントの影響 / p50 (0032.jp2)
- 2.4.1 切断面と砥石ブレードの間を流れるクラーアント圧の解析 / p50 (0032.jp2)
- 2.4.2 クーラント圧による砥石ブレードの変形 / p57 (0035.jp2)
- 2.4.3 クーラント流れの切断面うねりへの影響 / p59 (0036.jp2)
- 第2.5節 結言 / p59 (0036.jp2)
- 参考文献 / p61 (0037.jp2)
- 第3章 砥石ブレードの高剛性化 / p63 (0038.jp2)
- 第3.1節 砥石ブレードの応力分布の解析 / p63 (0038.jp2)
- 3.1.1 砥石ブレードを張り上げた状態の応力分布 / p65 (0039.jp2)
- 3.1.2 切断時の応力分布 / p67 (0040.jp2)
- 第3.2節 砥石ブレードの剛性 / p68 (0041.jp2)
- 3.2.1 砥石ブレードの軸対称変形 / p68 (0041.jp2)
- 3.2.2 微行ブレードの非軸対称変形 / p70 (0042.jp2)
- 第3.3節 砥石ブレードの高剛性化 / p72 (0043.jp2)
- 3.3.1 砥石ブレードの張り上げ量の適正化 / p72 (0043.jp2)
- 3.3.2 エアーバッドによる高剛性化 / p77 (0045.jp2)
- 第3.4節 結言 / p80 (0047.jp2)
- 参考文献 / p80 (0047.jp2)
- 第4章 切断面うねり制御 / p81 (0047.jp2)
- 第4.1節 インプロセス切断面うねり測定 / p81 (0047.jp2)
- 4.1.1 砥石ブレード変形量のインプロセス非投触測定 / p83 (0048.jp2)
- 4.1.2 砥石ブレードの変形要因 / p84 (0049.jp2)
- 4.1.3 砥石ブレード変形測定に基づく切断面うねりの推定 / p87 (0050.jp2)
- 第4.2節 切断面うねり制御 / p90 (0052.jp2)
- 4.2.1 砥石の部分的ドレッシングによる切断面うねり制御 / p90 (0052.jp2)
- 4.2.2 クーラントノズル位置移動による切断面うねり制御 / p92 (0053.jp2)
- 4.2.3 切断面うねり制御装置の試作 / p93 (0053.jp2)
- 第4.3節 結言 / p93 (0053.jp2)
- 参考文献 / p93 (0053.jp2)
- 第5章 砥石ブレードの寿命の向上および切断面残留応力の評価 / p97 (0055.jp2)
- 第5.1節 砥石ブレードの寿命要因分析と寿命の向上 / p97 (0055.jp2)
- 5.1.1 砥石の消耗に起因した寿命 / p98 (0056.jp2)
- 5.1.2 ブレードのクリープ歪に起因した寿命 / p100 (0057.jp2)
- 5.1.3 ブレードの傷に起因した寿命 / p101 (0057.jp2)
- 5.1.4 ブレードの疲労歪に起因した寿命 / p101 (0057.jp2)
- 第5.2節 切断面残留応力の評価 / p103 (0058.jp2)
- 5.2.1 残留応力の評価方法 / p103 (0058.jp2)
- 5.2.2 残留応力に影響する因子 / p104 (0059.jp2)
- 5.2.3 切断面残留応力によるウェハの変形 / p108 (0061.jp2)
- 5.2.4 切断面残留応力の低減 / p109 (0061.jp2)
- 第5.3節 結言 / p112 (0063.jp2)
- 参考文献 / p112 (0063.jp2)
- 第6章 シリコンウェハの大口径化への対応 / p114 (0064.jp2)
- 第6.1節 大□径化に伴う緒問題 / p114 (0064.jp2)
- 6.1.1 切断装置の問題 / p114 (0064.jp2)
- 6.1.2 砥石ブレードの問題 / p115 (0064.jp2)
- 第6.2節 ワーク回転式切断 / p116 (0065.jp2)
- 6.2.1 ワーク回転式切断の特長 / p116 (0065.jp2)
- 6.2.2ワーク回転式切断における切断面うねり / p118 (0066.jp2)
- 6.2.3 切断面うねりの低減 / p120 (0067.jp2)
- 6.2.4 ワーク回転式切断の課題と対策 / p120 (0067.jp2)
- 6.2.5 ワーク回転式切断装置の試作 / p122 (0068.jp2)
- 6.2.6 試作装置による切断結果 / p131 (0072.jp2)
- 第6.3節 結言 / p139 (0076.jp2)
- 参考文献 / p139 (0076.jp2)
- 第7章 一般硬脆材への内周式研削切断の適用 / p141 (0077.jp2)
- 第7.1節 硬脆材の比研削エネルギ / p141 (0077.jp2)
- 7.1.1 硬脆材の機械的性質の比研削エネルギへの影響 / p141 (0077.jp2)
- 7.1.2研削能率の向上 / p145 (0079.jp2)
- 7.1.3 研削面の低歪化 / p147 (0080.jp2)
- 第7.2節 各種硬脆材料の切断 / p151 (0082.jp2)
- 7.2.1 ガラス / p151 (0082.jp2)
- 7.2.2 ガリウム砒素 / p152 (0083.jp2)
- 7.2.3 Gallium Gadolinium Garnet / p152 (0083.jp2)
- 第7.3節 結言 / p154 (0084.jp2)
- 参考文献 / p154 (0084.jp2)
- 第8章 総括 / p155 (0084.jp2)
- 第8.1節 本研究の結果の要約 / p155 (0084.jp2)
- 第8.2節 本研究の工学的､工業的意義 / p158 (0086.jp2)
- 本研究に関する研究論文および学会発表 / p160 (0087.jp2)
- 謝辞 / p162 (0088.jp2)
- 付録 / p163 (0088.jp2)
- 1 砥石ブレードの振動の解析 / p163 (0088.jp2)
- 2 砥石ブレードのインパルス応答 / p167 (0090.jp2)
- 3 砥石ブレードのぶ力分布 / p168 (0091.jp2)
- 4 大口径空気軸受の設計 / p172 (0093.jp2)
