Synthesis and characterization of semiconductor diamond films 半導体ダイヤモンド薄膜の作製とその評価

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著者

    • 森, 勇介 モリ, ユウスケ

書誌事項

タイトル

Synthesis and characterization of semiconductor diamond films

タイトル別名

半導体ダイヤモンド薄膜の作製とその評価

著者名

森, 勇介

著者別名

モリ, ユウスケ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第6938号

学位授与年月日

1996-03-28

注記・抄録

博士論文

12601

博士(工学)

1996-03-28

大阪大学

14401乙第06938号

目次

  1. TABLE OF CONTENTS / (0006.jp2)
  2. ABSTRACT / p1 (0003.jp2)
  3. ACKNOWLEDGMENTS / p4 (0005.jp2)
  4. TABLE OF CONTENTS / p7 (0006.jp2)
  5. LIST OF TABLES / p10 (0008.jp2)
  6. LIST OF FIGURES / p11 (0008.jp2)
  7. 1.INTRODUCTION / p19 (0012.jp2)
  8. 1.1 Properties and Applications of Diamond / p19 (0012.jp2)
  9. 1.2 History of Synthesized Diamond / p19 (0012.jp2)
  10. 1.3 Objective of This Work / p20 (0013.jp2)
  11. 1.4 References / p21 (0013.jp2)
  12. 2.GROWTH OF DIAMOND FILMS / p23 (0014.jp2)
  13. 2.1 Introduction / p23 (0014.jp2)
  14. 2.2 Homoepitaxy of Diamond Films / p25 (0015.jp2)
  15. 2.3 Doping of Diamond films / p37 (0021.jp2)
  16. 2.4 Summary / p44 (0025.jp2)
  17. 2.5 References / p44 (0025.jp2)
  18. 3.SURFACE OF CVD DIAMOND FILMS / p47 (0026.jp2)
  19. 3.1 Introduction / p47 (0026.jp2)
  20. 3.2 As-Grown CVD Diamond Surface / p47 (0026.jp2)
  21. 3.3 Surface Conductive Layers / p50 (0028.jp2)
  22. 3.4 Graphitization of Diamond Surface / p56 (0031.jp2)
  23. 3.5 Summary / p60 (0033.jp2)
  24. 3.6 References / p60 (0033.jp2)
  25. 4.FORMATION AND PROPERTIES OF METAL-DIAMOND INTERFACES / p63 (0034.jp2)
  26. 4.1 Introduction / p63 (0034.jp2)
  27. 4.2 Metal-CVD diamond interface formation / p63 (0034.jp2)
  28. 4.3 Properties of Metal-Diamond Interfaces / p78 (0042.jp2)
  29. 4.4 Summary / p88 (0047.jp2)
  30. 4.5 References / p90 (0048.jp2)
  31. 5.ION IMPLANTATION IN DIAMOND / p93 (0049.jp2)
  32. 5.1 Introduction / p93 (0049.jp2)
  33. 5.2 Implantation Damage in Diamond Films / p94 (0050.jp2)
  34. 5.3 Electrical Doping of Diamond Films by Ion Implantation / p98 (0052.jp2)
  35. 5.4 Summary / p104 (0055.jp2)
  36. 5.5 References / p105 (0055.jp2)
  37. 6.HYDROGEN ENHANCED OXYGEN DIFFUSION IN DIAMOND / p107 (0056.jp2)
  38. 6.1 Introduction / p107 (0056.jp2)
  39. 6.2 Oxygen Diffusion into Diamond Induced by Hydrogen μ-wave Plasma / p107 (0056.jp2)
  40. 6.3 Cathodoluminescence of Oxygen Diffused Diamond / p111 (0058.jp2)
  41. 6.4 Summary / p112 (0059.jp2)
  42. 6.5 References / p112 (0059.jp2)
  43. 7.CONCLUSIONS / p113 (0059.jp2)
  44. 7.1 Summary / p113 (0059.jp2)
  45. 7.2 Direction of Future Work / p117 (0061.jp2)
  46. LIST OF PUBLICATIONS / p119 (0062.jp2)
  47. PRESENTATIONS AT INTERNATIONAL CONFERENCE / p122 (0064.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000133953
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000968262
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000000298267
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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