各種表面分析機器を用いたジルコニア薄膜の評価とその応用に関する研究

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著者

    • 中尾, 眞人 ナカオ, マサト

書誌事項

タイトル

各種表面分析機器を用いたジルコニア薄膜の評価とその応用に関する研究

著者名

中尾, 眞人

著者別名

ナカオ, マサト

学位授与大学

信州大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第33号

学位授与年月日

1996-03-20

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 緒言 / p1 (0005.jp2)
  3. 第1章 序論 / p2 (0007.jp2)
  4. 1.1 本研究の経緯 / p2 (0007.jp2)
  5. 1.2 ジルコニアの特徴 / p3 (0008.jp2)
  6. 1.3 本研究のねらいと本論文の構成 / p4 (0008.jp2)
  7. 第2章 超強力X線回折装置によるジルコニア薄膜の評価 / p9 (0012.jp2)
  8. 2.1 はじめに / p9 (0012.jp2)
  9. 2.2 超強力X線回折装置による評価方法と測定条件 / p10 (0013.jp2)
  10. 2.3 イットリア固溶ジルコニア薄膜の結晶性 / p12 (0014.jp2)
  11. 2.4 その他の安定化剤固溶によるジルコニア薄膜 / p38 (0027.jp2)
  12. 2.5 ジルコニア薄膜上に作製したYBaCuO超伝導薄膜の結晶性 / p44 (0030.jp2)
  13. 2.6 まとめ / p59 (0037.jp2)
  14. 第3章 電子線マイクロアナライザによるジルコニア薄膜及びジルコニア薄膜上に作製したYBaCuO超伝導薄膜の評価 / p63 (0040.jp2)
  15. 3.1 はじめに / p63 (0040.jp2)
  16. 3.2 電子線マイクロアナライザによる評価方法と測定条件 / p64 (0041.jp2)
  17. 3.3 イットリア固溶ジルコニア所膜の組成分析673.3.1ジルコ二二刀薄膜の分析方法 / p67 (0042.jp2)
  18. 3.4 まとめ / p78 (0048.jp2)
  19. 第4章 X線光電子分光法・オージェ電子分光法によるジルコニア薄膜及びジルコニア薄膜上に作製したYBaCuO超伝導薄膜の評価 / p80 (0050.jp2)
  20. 4.1 はじめに / p80 (0050.jp2)
  21. 4.2 オージェ電子分光法及びX線光電子分光法による評価方法と測定条件 / p81 (0051.jp2)
  22. 4.3 オージェ電子分光法によるシリコン基板上に作製したYBaCuO薄膜の組成分析 / p83 (0052.jp2)
  23. 4.4 X線光電子分光法によるジルコニア薄膜の組成及び状態分析 / p87 (0054.jp2)
  24. 4.5 まとめ / p92 (0056.jp2)
  25. 第5章 電子顕微鏡及び原子間力顕微鏡によるジルコニア薄膜の評価 / p93 (0058.jp2)
  26. 5.1 はじめに / p93 (0058.jp2)
  27. 5.2 電子顕微鏡及び原子間力顕微鏡による評価方法と測定条件 / p95 (0059.jp2)
  28. 5.3 走査形電子顕微鏡による表面及び断面観察 / p98 (0061.jp2)
  29. 5.4 電界放射形走査電子顕微鏡による表面及び断面観察 / p104 (0064.jp2)
  30. 5.5 透過形電子顕微鏡による反射高速電子線回折 / p106 (0065.jp2)
  31. 5.6 原子間力顕微鏡による表面観察 / p108 (0066.jp2)
  32. 5.7 まとめ / p110 (0067.jp2)
  33. 第6章 ジルコニア薄膜の応用 / p112 (0069.jp2)
  34. 6.1 はじめに / p112 (0069.jp2)
  35. 6.2 ジルコ二ア薄膜のYBaCuO超伝導薄膜緩衝層への応用 / p113 (0070.jp2)
  36. 6.3 ジルコニア薄膜の酸素センサへの応用 / p127 (0077.jp2)
  37. 6.4 ジルコニア酸素センサの現状と薄膜酸素センサへの応用の可能性 / p133 (0080.jp2)
  38. 6.5 まとめ / p140 (0084.jp2)
  39. 第7章 総括(結論) / p143 (0086.jp2)
  40. 謝辞 / p149 (0090.jp2)
  41. 参考文献 / p150 (0092.jp2)
  42. 研究業績 / p155 (0096.jp2)
  43. 付録 / p157 (0098.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000134657
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000973748
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000298971
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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