アルミニウム蒸着膜の付着力に関する研究

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著者

    • 小林, 史利 コバヤシ, フミトシ

書誌事項

タイトル

アルミニウム蒸着膜の付着力に関する研究

著者名

小林, 史利

著者別名

コバヤシ, フミトシ

学位授与大学

信州大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第34号

学位授与年月日

1996-03-20

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 総論 / p1 (0006.jp2)
  3. 第2章 蒸着膜の形成 / p3 (0008.jp2)
  4. 2.1 緒言 / p3 (0008.jp2)
  5. 2.2 薄膜の蒸着過程 / p3 (0008.jp2)
  6. 2.3 種々の蒸着法 / p8 (0011.jp2)
  7. 2.4 結言 / p9 (0011.jp2)
  8. 第3章 薄膜作製システムの構成 / p11 (0013.jp2)
  9. 3.1 緒言 / p11 (0013.jp2)
  10. 3.2 蒸着装置 / p11 (0013.jp2)
  11. 3.3 蒸着監視・制御システム / p14 (0015.jp2)
  12. 3.4 残留ガス監視システム / p26 (0021.jp2)
  13. 3.5 結言 / p34 (0025.jp2)
  14. 第4章 付着力の測定方法 / p35 (0026.jp2)
  15. 4.1 緒言 / p35 (0026.jp2)
  16. 4.2 スクラッチ法の原理 / p35 (0026.jp2)
  17. 4.3 付着力の判定 / p40 (0029.jp2)
  18. 4.4 付着力の膜厚依存性 / p42 (0030.jp2)
  19. 4.5 結言 / p43 (0030.jp2)
  20. 第5章 付着力に及ぼす蒸着条件の影響 / p45 (0032.jp2)
  21. 5.1 緒言 / p45 (0032.jp2)
  22. 5.2 付着力に及ぼす基板洗浄処理の影響 / p45 (0032.jp2)
  23. 5.3 付着力の基板温度依存性 / p47 (0033.jp2)
  24. 5.4 付着力に対する平均蒸着速度の影響 / p48 (0034.jp2)
  25. 5.5 付着力に及ぼす蒸着速度制御パターンの影響 / p54 (0037.jp2)
  26. 5.6 付着力に及ぼす残留ガスの影響 / p68 (0044.jp2)
  27. 5.7 結言 / p84 (0052.jp2)
  28. 第6章 結論 / p87 (0054.jp2)
  29. 参考文献 / p90 (0056.jp2)
  30. 謝辞 / p93 (0057.jp2)
1アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000134658
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000973749
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000298972
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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