High precision measurement of machined surface profiles 加工面形状の高精度測定に関する研究

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著者

    • 葛, 宗涛 Ge, Zhong Tao

書誌事項

タイトル

High precision measurement of machined surface profiles

タイトル別名

加工面形状の高精度測定に関する研究

著者名

葛, 宗涛

著者別名

Ge, Zhong Tao

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第5593号

学位授与年月日

1996-03-26

注記・抄録

博士論文

目次

  1. Contents / p1 (0006.jp2)
  2. 1.INTRODUCTION / p1 (0011.jp2)
  3. 1.1.Background and Objective / p1 (0011.jp2)
  4. 1.2.Contents and Dissertation Arrangement / p9 (0019.jp2)
  5. 1.3.References / p11 (0021.jp2)
  6. 2.SURFACE PROFILE MEASUREMENT USING DIFFERENTIAL INTERFEROMETER / p20 (0030.jp2)
  7. 2.1.Abstract / p20 (0030.jp2)
  8. 2.2.Introduction / p20 (0030.jp2)
  9. 2.3.Principle of Operation / p21 (0031.jp2)
  10. 2.4.Evaluation of Differential Interferometer / p31 (0041.jp2)
  11. 2.5.Surface Profile Measurement / p39 (0049.jp2)
  12. 2.6.Summary / p40 (0050.jp2)
  13. 2.7.References / p41 (0051.jp2)
  14. 3.SELF-CALIBRATION OF DISPLACEMENT SENSORS / p43 (0053.jp2)
  15. 3.1.Abstract / p43 (0053.jp2)
  16. 3.2.Introduction / p43 (0053.jp2)
  17. 3.3.Principle of Operation / p45 (0055.jp2)
  18. 3.4.Experiments / p51 (0061.jp2)
  19. 3.5.Discussion / p61 (0071.jp2)
  20. 3.6.Summary / p65 (0075.jp2)
  21. 3.7.References / p66 (0076.jp2)
  22. 4.SURFACE PROFILE MEASUREMENT BY 3-POINT METHOD / p69 (0079.jp2)
  23. 4.1.Abstract / p69 (0079.jp2)
  24. 4.2.Introduction / p69 (0079.jp2)
  25. 4.3.Principle of Operation / p71 (0081.jp2)
  26. 4.4.Experiment / p83 (0093.jp2)
  27. 4.5.Summary / p87 (0097.jp2)
  28. 4.6.References / p87 (0097.jp2)
  29. 5.BASIC STUDY ON THE MEASUREMENT OF 2-D SURFACE PROFILE:PART1 / p91 (0101.jp2)
  30. 5.1.Abstract / p91 (0101.jp2)
  31. 5.2.Introduction / p91 (0101.jp2)
  32. 5.3.Measurement Method and Transfer Function / p92 (0102.jp2)
  33. 5.4.Transfer Function and Spatial Frequency Resolution / p101 (0111.jp2)
  34. 5.5.Transfer Function and Longitudinal Resolution / p103 (0113.jp2)
  35. 5.6.Conclusions / p107 (0117.jp2)
  36. 5.7.References / p108 (0118.jp2)
  37. 6.BASIC STUDY ON THE MEASUREMENT OF 2-D SURFACE PROFILES:PART2 / p110 (0120.jp2)
  38. 6.1.Abstract / p110 (0120.jp2)
  39. 6.2.Introduction / p110 (0120.jp2)
  40. 6.3.Principle of Measurement / p111 (0121.jp2)
  41. 6.4.Error Analysis / p115 (0125.jp2)
  42. 6.5.Conclusions / p132 (0142.jp2)
  43. 6.6.References / p132 (0142.jp2)
  44. 7.BASIC STUDY ON THE MEASUREMENT OF 2-D SURFACE PROFILES:PART3 / p134 (0144.jp2)
  45. 7.1.Abstract / p134 (0144.jp2)
  46. 7.2.Introduction / p134 (0144.jp2)
  47. 7.3.Principle of Measurement / p136 (0146.jp2)
  48. 7.4.Description of Apparatus / p140 (0150.jp2)
  49. 7.5.Evaluation of Measurement System / p147 (0157.jp2)
  50. 7.6.Profile Measurement / p156 (0166.jp2)
  51. 7.7.Conclusions / p164 (0174.jp2)
  52. 7.8.References / p165 (0175.jp2)
  53. 8.CONCLUSIONS / p167 (0177.jp2)
  54. PUBLICATIONS / p173 (0183.jp2)
  55. ACKNOWLEDGMENTS / p175 (0185.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000134843
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000973925
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000299157
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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