マイクロマシニングによる微少流量制御システムに関する研究

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著者

    • 沈, 東演 Sim, Dong Youn

書誌事項

タイトル

マイクロマシニングによる微少流量制御システムに関する研究

著者名

沈, 東演

著者別名

Sim, Dong Youn

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第5597号

学位授与年月日

1996-03-26

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0004.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0007.jp2)
  3. 参考文献 / p6 (0012.jp2)
  4. 第2章 集積化気体流量制御システムについて / p7 (0013.jp2)
  5. 2-1 マイクロコントロールバルブについて / p9 (0015.jp2)
  6. 2-2 マイクロ真空センサについて / p18 (0024.jp2)
  7. 2-3 マイクロフローセンサについて / p25 (0031.jp2)
  8. 2-4 マスフローコントローラ / p31 (0037.jp2)
  9. 参考文献 / p35 (0041.jp2)
  10. 第3章 集積化気体流量制御システムについて / p38 (0044.jp2)
  11. 3-1 シリコン基板を用いたマイクロコントロールバルブの原理 / p38 (0044.jp2)
  12. 3-2 マイクロ真空センサ / p61 (0066.jp2)
  13. 3-3 マイクロフローセンサ / p67 (0072.jp2)
  14. 参考文献 / p82 (0087.jp2)
  15. 第4章 製作要素技術 / p84 (0089.jp2)
  16. 4-1 シリコンエッチング技術 / p84 (0089.jp2)
  17. 4-2 シリコン-シリコン接合技術 / p108 (0113.jp2)
  18. 4-3 金属-ガラス接合技術 / p132 (0137.jp2)
  19. 4-4 シリコン酸化膜の低温成膜技術 / p142 (0147.jp2)
  20. 4-5 ガラスの微細穴加工技術 / p172 (0177.jp2)
  21. 参考文献 / p183 (0188.jp2)
  22. 第5章 製作工程 / p187 (0192.jp2)
  23. 5-1 ガラス-シリコン-シリコン-ガラス型のマイクロコントロールバルブの製作工程 / p187 (0192.jp2)
  24. 5-2 ガラス-シリコン-ガラス型の空焼き可能なマイクロコントロールバルブの製作工程 / p193 (0198.jp2)
  25. 5-3 マイクロ真空センサの製作工程 / p195 (0200.jp2)
  26. 5-4 マイクロフローセンサの製作工程 / p198 (0203.jp2)
  27. 参考文献 / p201 (0206.jp2)
  28. 第6章 製作工程 / p202 (0207.jp2)
  29. 6-1 マイクロコントロールバルブ / p202 (0207.jp2)
  30. 6-2 マイクロ真空センサ測定方法とその結果について / p218 (0224.jp2)
  31. 6-3 マイクロフローセンサの測定方法とその結果について / p225 (0231.jp2)
  32. 参考文献 / p228 (0234.jp2)
  33. 第7章 結論及び将来の展望 / p229 (0235.jp2)
  34. 謝辞 / p235 (0241.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000134847
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000973929
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000299161
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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