マイクロマシニングによる微少流量制御システムに関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
マイクロマシニングによる微少流量制御システムに関する研究
- Author
-
沈, 東演
- Author(Another name)
-
Sim, Dong Youn
- University
-
東北大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第5597号
- Degree year
-
1996-03-26
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / (0004.jp2)
- 第1章 緒論 / p1 (0007.jp2)
- 参考文献 / p6 (0012.jp2)
- 第2章 集積化気体流量制御システムについて / p7 (0013.jp2)
- 2-1 マイクロコントロールバルブについて / p9 (0015.jp2)
- 2-2 マイクロ真空センサについて / p18 (0024.jp2)
- 2-3 マイクロフローセンサについて / p25 (0031.jp2)
- 2-4 マスフローコントローラ / p31 (0037.jp2)
- 参考文献 / p35 (0041.jp2)
- 第3章 集積化気体流量制御システムについて / p38 (0044.jp2)
- 3-1 シリコン基板を用いたマイクロコントロールバルブの原理 / p38 (0044.jp2)
- 3-2 マイクロ真空センサ / p61 (0066.jp2)
- 3-3 マイクロフローセンサ / p67 (0072.jp2)
- 参考文献 / p82 (0087.jp2)
- 第4章 製作要素技術 / p84 (0089.jp2)
- 4-1 シリコンエッチング技術 / p84 (0089.jp2)
- 4-2 シリコン-シリコン接合技術 / p108 (0113.jp2)
- 4-3 金属-ガラス接合技術 / p132 (0137.jp2)
- 4-4 シリコン酸化膜の低温成膜技術 / p142 (0147.jp2)
- 4-5 ガラスの微細穴加工技術 / p172 (0177.jp2)
- 参考文献 / p183 (0188.jp2)
- 第5章 製作工程 / p187 (0192.jp2)
- 5-1 ガラス-シリコン-シリコン-ガラス型のマイクロコントロールバルブの製作工程 / p187 (0192.jp2)
- 5-2 ガラス-シリコン-ガラス型の空焼き可能なマイクロコントロールバルブの製作工程 / p193 (0198.jp2)
- 5-3 マイクロ真空センサの製作工程 / p195 (0200.jp2)
- 5-4 マイクロフローセンサの製作工程 / p198 (0203.jp2)
- 参考文献 / p201 (0206.jp2)
- 第6章 製作工程 / p202 (0207.jp2)
- 6-1 マイクロコントロールバルブ / p202 (0207.jp2)
- 6-2 マイクロ真空センサ測定方法とその結果について / p218 (0224.jp2)
- 6-3 マイクロフローセンサの測定方法とその結果について / p225 (0231.jp2)
- 参考文献 / p228 (0234.jp2)
- 第7章 結論及び将来の展望 / p229 (0235.jp2)
- 謝辞 / p235 (0241.jp2)
