Visualization of micro vibration with stroboscopic phase-shift interferometry ストロボ位相シフト干渉法を用いた微小振動計測に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
Visualization of micro vibration with stroboscopic phase-shift interferometry
- タイトル別名
-
ストロボ位相シフト干渉法を用いた微小振動計測に関する研究
- 著者名
-
中野, 健
- 著者別名
-
ナカノ, ケン
- 学位授与大学
-
名古屋大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
甲第3734号
- 学位授与年月日
-
1997-03-25
注記・抄録
博士論文
目次
- Contents / p1 (0003.jp2)
- 1 Introduction / p1 (0005.jp2)
- 1.1 Micro-Devices Using Micro Vibrations / p1 (0005.jp2)
- 1.2 Phase-Shift Interferometry / p7 (0008.jp2)
- 1.3 Purpose of Study / p12 (0011.jp2)
- 1.4 Composition of Thesis / p13 (0011.jp2)
- 2 Principles of Stroboscopic Phase-Shift Interferometry / p15 (0012.jp2)
- 2.1 Stroboscopic Illumination / p15 (0012.jp2)
- 2.2 Interference Intensity for Two-Beam Interferometer / p18 (0014.jp2)
- 2.3 Phase-Shift Algorithm / p24 (0017.jp2)
- 2.4 Interference Intensity for Multi-Beam Interferometer / p26 (0018.jp2)
- 2.5 Numerical Calculations / p34 (0022.jp2)
- 3 Basic Experiments Using Michelson Interferometry / p45 (0027.jp2)
- 3.1 Introduction / p45 (0027.jp2)
- 3.2 Experimental Setup / p46 (0028.jp2)
- 3.3 Results and Discussions / p58 (0034.jp2)
- 3.4 Conclusions / p71 (0040.jp2)
- 4 Stroboscopic Phase-Shift Interferometric Microscope / p73 (0041.jp2)
- 4.1 Introduction / p73 (0041.jp2)
- 4.2 Experimental Setup / p74 (0042.jp2)
- 4.3 Results and Discussions / p81 (0045.jp2)
- 4.4 Conclusions / p88 (0049.jp2)
- 5 Vibration Measurement of Ultrasonic Motor / p89 (0049.jp2)
- 5.1 Introduction / p89 (0049.jp2)
- 5.2 Experimental Setup / p90 (0050.jp2)
- 5.3 Results and Discussions / p94 (0052.jp2)
- 5.4 Conclusions / p105 (0057.jp2)
- 6 Visualization of High-Frequency SAW Propagation / p107 (0058.jp2)
- 6.1 Introduction / p107 (0058.jp2)
- 6.2 Experimental Setup / p108 (0059.jp2)
- 6.3 Results and Discussions / p112 (0061.jp2)
- 6.4 Conclusions / p119 (0064.jp2)
- 7 Summary / p121 (0065.jp2)
- 7.1 General Summary / p121 (0065.jp2)
- 7.2 Future Prospects / p124 (0067.jp2)
- References / p127 (0068.jp2)
