Visualization of micro vibration with stroboscopic phase-shift interferometry ストロボ位相シフト干渉法を用いた微小振動計測に関する研究

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著者

    • 中野, 健 ナカノ, ケン

書誌事項

タイトル

Visualization of micro vibration with stroboscopic phase-shift interferometry

タイトル別名

ストロボ位相シフト干渉法を用いた微小振動計測に関する研究

著者名

中野, 健

著者別名

ナカノ, ケン

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第3734号

学位授与年月日

1997-03-25

注記・抄録

博士論文

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文

目次

  1. Contents
  2. 1 Introduction
  3. 1.1 Micro-Devices Using Micro Vibrations
  4. 1.2 Phase-Shift Interferometry
  5. 1.3 Purpose of Study
  6. 1.4 Composition of Thesis
  7. 2 Principles of Stroboscopic Phase-Shift Interferometry
  8. 2.1 Stroboscopic Illumination
  9. 2.2 Interference Intensity for Two-Beam Interferometer
  10. 2.3 Phase-Shift Algorithm
  11. 2.4 Interference Intensity for Multi-Beam Interferometer
  12. 2.5 Numerical Calculations
  13. 3 Basic Experiments Using Michelson Interferometry
  14. 3.1 Introduction
  15. 3.2 Experimental Setup
  16. 3.3 Results and Discussions
  17. 3.4 Conclusions
  18. 4 Stroboscopic Phase-Shift Interferometric Microscope
  19. 4.1 Introduction
  20. 4.2 Experimental Setup
  21. 4.3 Results and Discussions
  22. 4.4 Conclusions
  23. 5 Vibration Measurement of Ultrasonic Motor
  24. 5.1 Introduction
  25. 5.2 Experimental Setup
  26. 5.3 Results and Discussions
  27. 5.4 Conclusions
  28. 6 Visualization of High-Frequency SAW Propagation
  29. 6.1 Introduction
  30. 6.2 Experimental Setup
  31. 6.3 Results and Discussions
  32. 6.4 Conclusions
  33. 7 Summary
  34. 7.1 General Summary
  35. 7.2 Future Prospects
  36. References
4アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500002062474
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000002626501
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000311464
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション

書き出し

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