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Production of helicon wave-excited plasma and application to sputter deposition ヘリコン波励起プラズマの生成とスパッタリングへの応用

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著者

    • 張, 津秋 チョウ, シンシュウ

書誌事項

タイトル

Production of helicon wave-excited plasma and application to sputter deposition

タイトル別名

ヘリコン波励起プラズマの生成とスパッタリングへの応用

著者名

張, 津秋

著者別名

チョウ, シンシュウ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第6077号

学位授与年月日

1997-06-30

注記・抄録

博士論文

14401甲第06077号

博士(工学)

大阪大学

1997-06-30

13334

目次

  1. Contents / (0003.jp2)
  2. Chapter1. General Introduction / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 Background / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 Objective of the research / p6 (0008.jp2)
  5. 1.3 Content of the research / p7 (0008.jp2)
  6. References / p9 (0009.jp2)
  7. Chapter2. Properties of Helicon Wave-Excited Plasmas / p12 (0011.jp2)
  8. 2.1 Introduction / p12 (0011.jp2)
  9. 2.2 Experimental / p12 (0011.jp2)
  10. 2.3 Results and discussion / p15 (0012.jp2)
  11. 2.4 Summary / p39 (0024.jp2)
  12. References / p41 (0025.jp2)
  13. Chapter3. Measurement of Electromagnetic Wave Field / p43 (0026.jp2)
  14. 3.1 Introduction / p43 (0026.jp2)
  15. 3.2 Experimental / p45 (0027.jp2)
  16. 3.3 Results and discussion / p47 (0028.jp2)
  17. 3.4 Summary / p55 (0032.jp2)
  18. References / p58 (0034.jp2)
  19. Chapter4. Application of Helicon Wave-Excited Plasma to DC Sputtering / p59 (0034.jp2)
  20. 4.1 Introduction / p59 (0034.jp2)
  21. 4.2 Experimental / p61 (0035.jp2)
  22. 4.3 Results and discussion / p61 (0035.jp2)
  23. 4.4 Summary / p70 (0040.jp2)
  24. References / p72 (0041.jp2)
  25. Chapter5. Synthesis of Carbon Nitride Films with DC Sputtering Assisted by Helicon Wave-Excited Plasma / p73 (0041.jp2)
  26. 5.1 Introduction / p73 (0041.jp2)
  27. 5.2 Experimental / p73 (0041.jp2)
  28. 5.3 Results and discussion / p77 (0043.jp2)
  29. 5.5 Summary / p94 (0052.jp2)
  30. References / p96 (0053.jp2)
  31. Chapter6. Conclusions / p99 (0054.jp2)
  32. Acknowledgement / p101 (0055.jp2)
  33. List of Publications / p103 (0056.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000150039
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001060893
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000314353
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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