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CZ法に於けるSi単結晶育成時の融液流動と酸素輸送に関する研究

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著者

    • 十河, 慎二 トガワ, シンジ

書誌事項

タイトル

CZ法に於けるSi単結晶育成時の融液流動と酸素輸送に関する研究

著者名

十河, 慎二

著者別名

トガワ, シンジ

学位授与大学

九州大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第6531号

学位授与年月日

1997-09-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 本研究の背景 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 結晶育成プロセスと坩堝内に発生する流れ / p3 (0006.jp2)
  5. 1.3 従来の研究 / p10 (0010.jp2)
  6. 1.4 本研究の目的及び意義 / p17 (0013.jp2)
  7. 1.5 本論文の構成と展開 / p18 (0014.jp2)
  8. 1.6 まとめ / p21 (0015.jp2)
  9. 第2章 融液流動の解析手法 / p26 (0018.jp2)
  10. 2.1 まえがき / p26 (0018.jp2)
  11. 2.2 解析の基本式と数値解法 / p26 (0018.jp2)
  12. 2.3 解析モデル / p29 (0020.jp2)
  13. 2.4 Si融液の物性値 / p29 (0020.jp2)
  14. 2.5 境界条件 / p32 (0021.jp2)
  15. 2.6 初期条件 / p35 (0023.jp2)
  16. 2.7 まとめ / p35 (0023.jp2)
  17. 第3章 結晶育成時の操業条件が融液中の酸素輸送機構及び育成結晶中の濃度分布に及ぼす影響 / p38 (0024.jp2)
  18. 3.1 まえがき / p38 (0024.jp2)
  19. 3.2 坩堝回転の効果に関する実験及び解析手法 / p39 (0025.jp2)
  20. 3.3 結晶回転の効果に関する実験及び解析手法 / p41 (0026.jp2)
  21. 3.4 融液流動の計算機シミュレーション / p42 (0026.jp2)
  22. 3.5 坩堝回転が融液中の温度、酸素分布に与える影響 / p45 (0028.jp2)
  23. 3.6 結晶回転が固液界面付近の酸素濃度に及ぼす影響 / p60 (0035.jp2)
  24. 3.7 まとめ / p70 (0040.jp2)
  25. 第4章 Si融液表面からの酸素の蒸発と結晶中酸素濃度分布の関係 / p72 (0041.jp2)
  26. 4.1 まえがき / p72 (0041.jp2)
  27. 4.2 数値解析手法 / p72 (0041.jp2)
  28. 4.3 計算結果 / p77 (0044.jp2)
  29. 4.4 まとめ / p90 (0050.jp2)
  30. 第5章 結晶中に取り込まれる酸素の供給源及び濃度分布の支配要因 / p92 (0051.jp2)
  31. 5.1 まえがき / p92 (0051.jp2)
  32. 5.2 実験及び解析手法 / p93 (0052.jp2)
  33. 5.3 結晶中の酸素濃度分布 / p95 (0053.jp2)
  34. 5.4 計算による融液中の酸素濃度分布 / p100 (0055.jp2)
  35. 5.5 融液中酸素濃度分布の決定因子 / p104 (0057.jp2)
  36. 5.6 まとめ / p107 (0059.jp2)
  37. 第6章 結晶育成時の融液対流構造に融液の密度異常が及ぼす影響(結晶中心下部) / p109 (0060.jp2)
  38. 6.1 まえがき / p109 (0060.jp2)
  39. 6.2 実験方法及び解析方法 / p111 (0061.jp2)
  40. 6.3 実験結果及び考察 / p115 (0063.jp2)
  41. 6.4 まとめ / p134 (0073.jp2)
  42. 第7章 結晶育成時の融液対流構造に融液の密度異常が及ぼす影響(結晶外周部、自由表面部) / p137 (0074.jp2)
  43. 7.1 まえがき / p137 (0074.jp2)
  44. 7.2 実験、解析方法 / p138 (0075.jp2)
  45. 7.3 結果 / p140 (0076.jp2)
  46. 7.4 まとめ / p151 (0081.jp2)
  47. 第8章 3次元融液流動シミュレーション / p153 (0082.jp2)
  48. 8.1 まえがき / p153 (0082.jp2)
  49. 8.2 数値解析 / p153 (0082.jp2)
  50. 8.3 結晶育成及び温度測定実験 / p160 (0086.jp2)
  51. 8.4 温度測定結果と計算結果の比較 / p162 (0087.jp2)
  52. 8.5 坩堝内融液の対流構造 / p166 (0089.jp2)
  53. 8.6 結晶中酸素濃度と計算結果の比較 / p170 (0091.jp2)
  54. 8.7 まとめ / p177 (0094.jp2)
  55. 第9章 成長結晶と計算結果の比較及び考察 / p179 (0095.jp2)
  56. 9.1 まえがき / p179 (0095.jp2)
  57. 9.2 結晶成長方向の酸素濃度分布の支配要因 / p179 (0095.jp2)
  58. 9.3 結晶面内酸素濃度分布の支配要因 / p190 (0101.jp2)
  59. 9.4 酸素濃度の微小変動の支配要因 / p190 (0101.jp2)
  60. 9.5 まとめ及び今後の問題点 / p195 (0103.jp2)
  61. 第10章 結論 / p198 (0105.jp2)
  62. 謝辞 / p203 (0107.jp2)
5アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000151846
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001068782
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000316160
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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