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オージェ電子分光分析装置内に構築した計測システムによる金とシリコン間の固体間凝着現象の検討

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著者

    • 水野, 亮二 ミズノ, リョウジ

書誌事項

タイトル

オージェ電子分光分析装置内に構築した計測システムによる金とシリコン間の固体間凝着現象の検討

著者名

水野, 亮二

著者別名

ミズノ, リョウジ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第3435号

学位授与年月日

1997-03-26

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 目次 / (0004.jp2)
  3. 第1章 緒論 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.1 研究の背景 / p1 (0006.jp2)
  5. 1.2 固体間凝着現象に関する研究の現状と問題点 / p2 (0007.jp2)
  6. 1.3 本研究の目的と方針 / p5 (0010.jp2)
  7. 1.4 本論文の構成 / p5 (0010.jp2)
  8. 第2章 弾性凝着接触理論による予備考察 / p8 (0013.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p8 (0013.jp2)
  10. 2.2 従来の弾性凝着接触理論 / p8 (0013.jp2)
  11. 2.3 計測系の剛性を考慮した弾性凝着接触理論 / p13 (0018.jp2)
  12. 2.4 計測系の剛性の固体間凝着現象におよぼす影響 / p20 (0025.jp2)
  13. 2.5 結言 / p27 (0032.jp2)
  14. 第3章 オージェ電子分光分析装置内に構築した計測システム / p58 (0033.jp2)
  15. 3.1 緒言 / p28 (0033.jp2)
  16. 3.2 弾性接触理論から示唆されるシステムの具備すべき条件 / p28 (0033.jp2)
  17. 3.3 その他の計測システムの具備すべき条件 / p29 (0034.jp2)
  18. 3.4 計測システムの構成 / p34 (0039.jp2)
  19. 3.5 計測手法 / p37 (0042.jp2)
  20. 3.6 結言 / p39 (0044.jp2)
  21. 第4章 計測系の剛性を考慮した弾性凝着接触理論の計測結果に対する適用性 / p41 (0046.jp2)
  22. 4.1 緒言 / p41 (0046.jp2)
  23. 4.2 計測結果からフォースカーブを導く手法 / p41 (0046.jp2)
  24. 4.3 弾性凝着接触理論から導かれる結果との比較および検討 / p47 (0052.jp2)
  25. 4.4 計測したフォースカーブに対する弾性凝着接触理論の適用性 / p56 (0061.jp2)
  26. 4.5 結言 / p57 (0062.jp2)
  27. 第5章 固体間凝着現象におよぼすアルゴンイオンスパッタリングの影響 / p58 (0063.jp2)
  28. 5.1 緒言 / p58 (0063.jp2)
  29. 5.2 アルゴンイオンスパッタリングにおける加速電圧の影響 / p58 (0063.jp2)
  30. 5.3 アルゴンイオンスパッタリングにおける電流密度の影響 / p68 (0073.jp2)
  31. 5.4 個体間凝着現象におよぼすイオンスパッタリングの影響に対する考察 / p72 (0077.jp2)
  32. 5.5 結言 / p75 (0080.jp2)
  33. 6.結論 / p76 (0081.jp2)
  34. 参考文献 / p79 (0084.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000153637
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001092657
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000317951
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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