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集積回路用微細アルミニウム配線の高信頼化に関する研究

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著者

    • 鈇田, 博 オノダ, ヒロシ

書誌事項

タイトル

集積回路用微細アルミニウム配線の高信頼化に関する研究

著者名

鈇田, 博

著者別名

オノダ, ヒロシ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第2997号

学位授与年月日

1997-01-31

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 目次 / p1 (0004.jp2)
  3. 第1章 「序論」 / p1 (0007.jp2)
  4. 1.1 序 / p1 (0007.jp2)
  5. 1.2 本研究の背景 / p2 (0008.jp2)
  6. 1.3 本研究の目的 / p17 (0015.jp2)
  7. 1.4 本論文の構成と概要 / p20 (0017.jp2)
  8. 第1章 参考文献 / p24 (0019.jp2)
  9. 第2章 「アルミニウム配線高信頼化研究の現状」 / p27 (0020.jp2)
  10. 2.1 序 / p27 (0020.jp2)
  11. 2.2 Al配線へのSiの添加 / p28 (0021.jp2)
  12. 2.3 不純物添加によるAl配線の強化 / p37 (0025.jp2)
  13. 2.4 積層化によるAl配線の強化 / p57 (0035.jp2)
  14. 2.5 ヴィアホールの信頼性 / p61 (0037.jp2)
  15. 2.6 結論 / p65 (0039.jp2)
  16. 補足1.統計的配線寿命分布モデルと実使用条件下での故障率 / p67 (0040.jp2)
  17. 補足2.エレクトロマイグレーションの基礎概念 / p70 (0042.jp2)
  18. 第2章 参考文献 / p75 (0044.jp2)
  19. 第3章 「アルミニウムと異種金属との界面の評価」 / p81 (0047.jp2)
  20. 3.1 序 / p81 (0047.jp2)
  21. 3.2 試料の形成と評価 / p83 (0048.jp2)
  22. 3.3 結果と討論 / p88 (0051.jp2)
  23. 3.4 結論 / p120 (0067.jp2)
  24. 第3章 参考文献 / p122 (0068.jp2)
  25. 第4章 「アルミニウム配線における結晶配向性制御の効果」 / p125 (0069.jp2)
  26. 4.1 序 / p125 (0069.jp2)
  27. 4.2 試料の形成と評価 / p126 (0070.jp2)
  28. 4.3 結果と討論 / p128 (0071.jp2)
  29. 4.4 結論 / p154 (0084.jp2)
  30. 第4章 参考文献 / p155 (0084.jp2)
  31. 第5章 「アルミニウム配線における電流バイパス効果」 / p157 (0085.jp2)
  32. 5.1 序 / p157 (0085.jp2)
  33. 5.2 試料の形成と評価 / p159 (0086.jp2)
  34. 5.3 結果と討論 / p160 (0087.jp2)
  35. 5.4 結論 / p189 (0101.jp2)
  36. 第5章 参考文献 / p190 (0102.jp2)
  37. 第6章 「高信頼性アルミニウム積層配線の形成」 / p193 (0103.jp2)
  38. 6.1 序 / p193 (0103.jp2)
  39. 6.2 試料の形成と評価 / p195 (0104.jp2)
  40. 6.3 結果と討論 / p197 (0105.jp2)
  41. 6.4 結論 / p252 (0133.jp2)
  42. 第6章 参考文献 / p254 (0134.jp2)
  43. 第7章 「総括」 / p259 (0136.jp2)
  44. 7.1 本研究の成果 / p259 (0136.jp2)
  45. 7.2 今後の課題と展望 / p265 (0139.jp2)
  46. 謝辞 / p271 (0142.jp2)
  47. 本研究の主たる構成論文 / p273 (0143.jp2)
  48. その他発表論文一覧 / p274 (0144.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000153867
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001092881
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000318181
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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