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ハイブリッド励起CVD法によるシリコン窒化膜の研究

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著者

    • 山本, 茂市 ヤマモト, シゲイチ

書誌事項

タイトル

ハイブリッド励起CVD法によるシリコン窒化膜の研究

著者名

山本, 茂市

著者別名

ヤマモト, シゲイチ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第3009号

学位授与年月日

1997-02-28

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 目次 / p1 (0005.jp2)
  3. 第1章 序論 / p4 (0006.jp2)
  4. 1・1 液晶ディスプレイの可能性と課題 / p4 (0006.jp2)
  5. 1・2 シリコン上へのゲート絶縁膜用SiNx膜堆積の必要性 / p5 (0007.jp2)
  6. 1・3 本研究の目的 / p8 (0008.jp2)
  7. 第2章 ハイブリッド励起法の提案 / p12 (0010.jp2)
  8. 2・1 はじめに / p12 (0010.jp2)
  9. 2・2 プラズマ励起CVD法の問題点 / p12 (0010.jp2)
  10. 2・3 光励起CVD法の問題点 / p32 (0020.jp2)
  11. 2・4 ハイブリッド励起法の提案 / p55 (0032.jp2)
  12. 2・5 まとめ / p60 (0034.jp2)
  13. 第3章 H₂とNH₃を用いたハイブリッド励起によるシリコンの窒化 / p66 (0037.jp2)
  14. 3・1 はじめに / p66 (0037.jp2)
  15. 3・2 窒化におけるハイブリッド励起の相乗効果 / p66 (0037.jp2)
  16. 3・3 NH₃の光分解における水素ラジカルの役割 / p74 (0041.jp2)
  17. 3・4 まとめ / p80 (0044.jp2)
  18. 第4章 NH₃を用いたハイブリッド励起によるシリコンの窒化 / p84 (0046.jp2)
  19. 4・1 はじめに / p84 (0046.jp2)
  20. 4・2 Si(100)の窒化の確認 / p84 (0046.jp2)
  21. 4・3 a-Si:Hの窒化の確認 / p85 (0047.jp2)
  22. 4・4 N₂H₄を介するNH₃の光分解 / p92 (0050.jp2)
  23. 4・5 まとめ / p93 (0051.jp2)
  24. 第5章 ハイブリッド励起法によるSiNx膜の堆積 / p96 (0052.jp2)
  25. 5・1 はじめに / p96 (0052.jp2)
  26. 5・2 堆積時の全ガス圧の効果 / p96 (0052.jp2)
  27. 5・3 NH₃/SiH₄のガス流量比の効果 / p110 (0059.jp2)
  28. 5・4 基板温度の効果 / p120 (0064.jp2)
  29. 5・5 界面電荷密度に及ぼすSi(100)基板の窒化の効果 / p128 (0068.jp2)
  30. 5・6 まとめ / p131 (0070.jp2)
  31. 第6章 ハイブリッド励起法によるTFTの移動度向上 / p134 (0071.jp2)
  32. 6・1 はじめに / p134 (0071.jp2)
  33. 6・2 a-Si:H膜表面の窒化およびSiNx膜堆積の効果 / p134 (0071.jp2)
  34. 6・3 a-Si:H膜の膜質改善の効果 / p148 (0078.jp2)
  35. 6・4 真性移動度の推定 / p164 (0086.jp2)
  36. 6・5 まとめ / p168 (0088.jp2)
  37. 第7章 ハイブリッド励起法によるFETの移動度向上 / p172 (0090.jp2)
  38. 7・1 はじめに / p172 (0090.jp2)
  39. 7・2 Si(100)表面の窒化の効果 / p172 (0090.jp2)
  40. 7・3 ハイブリッド励起装置の改造 / p176 (0092.jp2)
  41. 7・4 まとめ / p179 (0094.jp2)
  42. 第8章 結論 / p180 (0094.jp2)
  43. 謝辞 / p183 (0096.jp2)
  44. 本研究に関する発表論文のリスト / p184 (0096.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000153879
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001092893
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000318193
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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