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集積回路製造プロセスにおけるシリコン表面のドライ洗浄技術の研究

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著者

    • 菊地, 純 キクチ, ジュン

書誌事項

タイトル

集積回路製造プロセスにおけるシリコン表面のドライ洗浄技術の研究

著者名

菊地, 純

著者別名

キクチ, ジュン

学位授与大学

京都大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第9749号

学位授与年月日

1998-01-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. 目次 / p1 (0004.jp2)
  3. 第1章 序論 / p4 (0007.jp2)
  4. 1.1 はじめに / p4 (0007.jp2)
  5. 1.2 シリコン表面の酸化物洗浄技術 / p6 (0008.jp2)
  6. 1.3 本論文の構成 / p13 (0012.jp2)
  7. 参考文献 / p15 (0013.jp2)
  8. 第2章 プラズマダウンフロー領域への水素原子供給方法 / p18 (0014.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p18 (0014.jp2)
  10. 2.2 実験方法 / p19 (0015.jp2)
  11. 2.3 結果とその検討 / p25 (0018.jp2)
  12. 2.4 結論 / p40 (0025.jp2)
  13. 参考文献 / p40 (0025.jp2)
  14. 第3章 水素+水蒸気プラズマダウンフローへのNF₃添加によるシリコン表面の自然酸化膜除去 / p42 (0026.jp2)
  15. 3.1 緒言 / p42 (0026.jp2)
  16. 3.2 実験 / p45 (0028.jp2)
  17. 3.3 結果とその検討 / p54 (0032.jp2)
  18. 3.4 結論 / p67 (0039.jp2)
  19. 参考文献 / p69 (0040.jp2)
  20. 第4章 透過FT-IR測定による気相反応観察とシリコン表面観察 / p71 (0041.jp2)
  21. 4.1 緒言 / p71 (0041.jp2)
  22. 4.2 実験装置 / p72 (0041.jp2)
  23. 4.3 結果とその検討 / p74 (0042.jp2)
  24. 4.4 結論 / p83 (0047.jp2)
  25. 参考文献 / p84 (0047.jp2)
  26. 第5章 FT-IR裏面RAS法を用いたプラズマダウンフロー処理中のシリコン表面のln-situ観察 / p85 (0048.jp2)
  27. 5.1 緒言 / p85 (0048.jp2)
  28. 5.2 FT-IR裏面RAS法によるシリコン表面観察 / p87 (0049.jp2)
  29. 5.3 実験 / p91 (0051.jp2)
  30. 5.4 結果とその検討 / p93 (0052.jp2)
  31. 5.5 結論 / p100 (0055.jp2)
  32. 参考文献 / p102 (0056.jp2)
  33. 第6章 水素+水蒸気プラズマダウンフローへNF₃を添加したプロセスのシリコン表面クリーニングへの適用 / p103 (0057.jp2)
  34. 6.1 緒言 / p103 (0057.jp2)
  35. 6.2 実験 / p104 (0057.jp2)
  36. 6.3 結果とその検討 / p110 (0060.jp2)
  37. 6.4 結論 / p119 (0065.jp2)
  38. 参考文献 / p120 (0065.jp2)
  39. 第7章 パルス発振した赤外半導体レーザ干渉法によるシリコンウェーハの非接触温度測定 / p122 (0066.jp2)
  40. 7.1 緒言 / p122 (0066.jp2)
  41. 7.2 赤外レーザー干渉法によるウェーハ温度測定の原理 / p126 (0068.jp2)
  42. 7.3 実験装置 / p128 (0069.jp2)
  43. 7.4 結果とその検討 / p128 (0069.jp2)
  44. 7.5 結論 / p147 (0079.jp2)
  45. 参考文献 / p150 (0080.jp2)
  46. 第8章 本論文の結論 / p152 (0081.jp2)
  47. 謝辞 / p157 (0084.jp2)
  48. 本研究に関する論文、発表 / p159 (0085.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000154117
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001093127
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000318431
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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