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シミュレーションによるランダムアモルファス半導体多層膜の光反射率異常に関する研究

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著者

    • 竹内, 繁樹 タケウチ, シゲキ

書誌事項

タイトル

シミュレーションによるランダムアモルファス半導体多層膜の光反射率異常に関する研究

著者名

竹内, 繁樹

著者別名

タケウチ, シゲキ

学位授与大学

岐阜大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第30号

学位授与年月日

1995-03-24

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. <目次> / (0004.jp2)
  3. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  4. 参考文献 / p9 (0010.jp2)
  5. 第2章 アモルファス半導体単層膜および多層膜の光反射率スペクトルのシミュレーション / p14 (0013.jp2)
  6. 2-1 はじめに / p14 (0013.jp2)
  7. 2-2 アモルファス半導体単層膜の光反射率スペクトル / p16 (0014.jp2)
  8. 2-3 有効媒質近似によるアモルファス半導体規則的多層膜の光反射率スペクトル / p23 (0017.jp2)
  9. 2-4 電磁波の境界連続条件によるアモルファス半導体規則的多層膜,ランダムアモルファス半導体多層膜の光反射率スペクトル / p28 (0020.jp2)
  10. 2-5 まとめ / p40 (0026.jp2)
  11. 参考文献 / p41 (0026.jp2)
  12. 第3章 シミュレーションによるランダムアモルファス半導体多層膜の光反射率異常の解析 / p42 (0027.jp2)
  13. 3-1 はじめに / p42 (0027.jp2)
  14. 3-2 表面からのランダム層の並びによる光反射率異常の変化 / p43 (0027.jp2)
  15. 3-3 ランダム性の大きさによる光反射率異常の変化 / p47 (0029.jp2)
  16. 3-4 基板側から順にランダム層を取り去ったときの光反射率異常の変化 / p50 (0031.jp2)
  17. 3-5 ランダム層の層数を増やしたときの光反射率異常の変化 / p53 (0032.jp2)
  18. 3-6 ランダム層の詳細な並べ替えによる光反射率異常の解析 / p55 (0033.jp2)
  19. 3-7 光反射率異常の多層膜層組成依存性 / p61 (0036.jp2)
  20. 3-8 まとめ / p68 (0040.jp2)
  21. 参考文献 / p69 (0040.jp2)
  22. 第4章 ランダムアモルファス半導体多層膜中の電界強度二乗分布 / p71 (0041.jp2)
  23. 4-1 はじめに / p71 (0041.jp2)
  24. 4-2 理論およびシミュレーションの方法 / p71 (0041.jp2)
  25. 4-3 アモルファス半導体規則的多層膜中とランダムアモルファス半導体多層膜中の電界強度二乗分布 / p72 (0042.jp2)
  26. 4-4 ランダムアモルファス半導体多層膜の層厚を厚くしたときの光の伝播 / p77 (0044.jp2)
  27. 4-5 まとめ / p83 (0047.jp2)
  28. 参考文献 / p85 (0048.jp2)
  29. 第5章 偏光斜め入射時のランダムアモルファス半導体多層膜の光反射率異常の変化 / p87 (0049.jp2)
  30. 5-1 はじめに / p87 (0049.jp2)
  31. 5-2 理論およびシミュレーションの方法 / p88 (0050.jp2)
  32. 5-3 シミュレーションの結果 / p94 (0053.jp2)
  33. 5-4 ランダムアモルファス半導体多層膜の光反射率異常のp偏光特異性の考察 / p103 (0057.jp2)
  34. 5-5 まとめ / p110 (0061.jp2)
  35. 参考文献 / p112 (0062.jp2)
  36. 第6章 屈折率をランダムに変化させたランダムアモルファス半導体多層膜の光反射率 / p115 (0063.jp2)
  37. 6-1 はじめに / p115 (0063.jp2)
  38. 6-2 単一波長における屈折率ランダムアモルファス半導体多層膜の光反射率 / p117 (0064.jp2)
  39. 6-3 屈折率ランダムアモルファス半導体多層膜の光反射率スペクトル / p129 (0070.jp2)
  40. 6-4 まとめ / p138 (0075.jp2)
  41. 参考文献 / p140 (0076.jp2)
  42. 第7章 ランダムアモルファス半導体多層膜の一応用;四分の一波長多層膜反射ミラーの高反射率帯域幅の拡大 / p143 (0077.jp2)
  43. 7-1 はじめに / p143 (0077.jp2)
  44. 7-2 四分の一波長アモルファス半導体規則的多層膜反射ミラーとランダムアモルファス半導体多層膜の高反射率帯域 / p144 (0078.jp2)
  45. 7-3 ランダムアモルファス半導体多層膜のランダム性の大きさと高反射率帯域幅 / p147 (0079.jp2)
  46. 7-4 ランダムアモルファス半導体多層膜のランダム層の並びと高反射率帯域幅 / p148 (0080.jp2)
  47. 7-5 ランダムアモルファス半導体多層膜の高反射率帯域における電界強度二乗分布 / p149 (0080.jp2)
  48. 7-6 まとめ / p152 (0082.jp2)
  49. 参考文献 / p153 (0082.jp2)
  50. 第8章 総括 / p156 (0084.jp2)
  51. 謝辞 / p160 (0086.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000154559
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000001093548
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000318873
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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