Studies on combined scanning capacitance/force microscopy 走査型静電容量・力複合顕微鏡に関する研究

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著者

    • 後藤, 和也 ゴトウ, カズヤ

書誌事項

タイトル

Studies on combined scanning capacitance/force microscopy

タイトル別名

走査型静電容量・力複合顕微鏡に関する研究

著者名

後藤, 和也

著者別名

ゴトウ, カズヤ

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第6390号

学位授与年月日

1998-03-25

注記・抄録

博士論文

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文

目次

  1. Contents
  2. 1 Introduction
  3. 1.1 Historical backgrounds
  4. 1.2 Scanning force microscopy
  5. 1.3 Scanning capacitance microscopy
  6. 1.4 Scanning probe microscopy memory
  7. 1.5 Problems in SCM and the aims of this work
  8. 1.6 Outline of this thesis
  9. 2 Basic principles
  10. 2.1 Scanning force microscopy
  11. 2.2 Cantilever as a force sensor
  12. 2.3 Cantilever deflection sensing
  13. 2.4 Scanning capacitance microscopy
  14. 2.5 Charge injection memory
  15. 3 Scanning force microscope with a double-focus lens interferometer
  16. 3.1 Introduction
  17. 3.2 Optical design
  18. 3.3 Experimental system
  19. 3.4 Results and discussion
  20. 3.5 Conclusions
  21. 4 Tapping mode capacitance microscopy
  22. 4.1 Introduction
  23. 4.2 Principle
  24. 4.3 Experimental setup
  25. 4.4 Experiment
  26. 4.5 Results and discussion
  27. 4.6 Conclusions
  28. 5 Tip-sample capacitance in capacitance microscopy of dielectric/electrode samples
  29. 5.1 Introduction
  30. 5.2 Theoretical approach by the method of images
  31. 5.3 Results and discussion
  32. 5.4 Conclusions
  33. 6 Tapping mode capacitance microscopy of a nitride-oxide-silicon recording medium
  34. 6.1 Introduction
  35. 6.2 Principle
  36. 6.3 Experimental setup
  37. 6.4 Experimental procedure
  38. 6.5 Results and discussion
  39. 6.6 Conclusions
  40. 7 Application of a semiconductor tip to capacitance microscopy
  41. 7.1 Introduction
  42. 7.2 Principle
  43. 7.3 Experimental setup
  44. 7.4 Experiment
  45. 7.5 Discussion
  46. 7.6 Conclusions
  47. 8 Summary
  48. A Micro-indentation with a force microscope tip assisted by electrostatic force
  49. A.1 Introduction
  50. A.2 Principle
  51. A.3 Experimental setup
  52. A.4 Experiment
  53. A.5 Results and discussion
  54. A.6 Conclusions
5アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500002076814
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000002640860
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000326899
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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