Nano-processing with gas cluster ion beams ガスクラスターイオンによるナノ構造形成プロセスの研究

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著者

    • 豊田, 紀章 トヨダ, ノリアキ

書誌事項

タイトル

Nano-processing with gas cluster ion beams

タイトル別名

ガスクラスターイオンによるナノ構造形成プロセスの研究

著者名

豊田, 紀章

著者別名

トヨダ, ノリアキ

学位授与大学

京都大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第7843号

学位授与年月日

1999-03-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. Abstract / p3 (0005.jp2)
  3. Contents / p7 (0007.jp2)
  4. 1 Introduction / p1 (0009.jp2)
  5. 1.1 What is a Cluster? / p1 (0009.jp2)
  6. 1.2 Nano-Processing with Gas Cluster Ion Beams / p3 (0010.jp2)
  7. 1.3 Purpose of the Study / p6 (0012.jp2)
  8. 2 Cluster Beam Formation and Equipment / p9 (0013.jp2)
  9. 2.1 Neutral Cluster Source / p9 (0013.jp2)
  10. 2.2 Cluster Ion Source and Accelerator / p17 (0017.jp2)
  11. 2.3 Mass Spectrometer / p21 (0019.jp2)
  12. 2.4 Summary / p29 (0023.jp2)
  13. 3 Properties of Cluster Beams / p31 (0024.jp2)
  14. 3.1 Time of Flight Mass Spectrometer / p31 (0024.jp2)
  15. 3.2 Ar cluster beams / p46 (0032.jp2)
  16. 3.3 Reactive and Mixed Cluster Beams / p59 (0038.jp2)
  17. 3.4 Multiply Charged Cluster Ions / p70 (0044.jp2)
  18. 3.5 Summary / p73 (0045.jp2)
  19. 4 Sputtering Phenomena with Ar Cluster Ions / p77 (0047.jp2)
  20. 4.1 Sputtering yield with Ar Cluster Ions / p77 (0047.jp2)
  21. 4.2 Angular Distributions of Sputtered Atoms / p90 (0054.jp2)
  22. 4.3 Summary / p98 (0058.jp2)
  23. 5 Etching with Reactive Cluster Ions / p101 (0059.jp2)
  24. 5.1 Introduction / p101 (0059.jp2)
  25. 5.2 Reactive Sputtering / p104 (0061.jp2)
  26. 5.3 Microetching / p113 (0065.jp2)
  27. 5.4 Summary / p114 (0066.jp2)
  28. 6 Surface Smoothing Effects and Mechanisms / p117 (0067.jp2)
  29. 6.1 Surface Smoothing Effects / p117 (0067.jp2)
  30. 6.2 Surface Smoothing Mechanisms / p130 (0074.jp2)
  31. 6.3 Applications of Surface Smoothing / p141 (0079.jp2)
  32. 6.4 Summary / p153 (0085.jp2)
  33. 7 Conclusions / p155 (0086.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000170404
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000170678
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000334718
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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