SFMの高機能化と高精度化に関する研究 SFM 高 機能化 精度化

この論文をさがす

著者

    • 權賢圭 ケン, ケンキユウ

書誌事項

タイトル

SFMの高機能化と高精度化に関する研究

タイトル別名

SFM 高 機能化 精度化

著者名

權賢圭

著者別名

ケン, ケンキユウ

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第6861号

学位授与年月日

1999-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0004.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0008.jp2)
  3. 1.1 研究の背景と目的 / p1 (0008.jp2)
  4. 1.2 研究の内容と本論文の構成 / p8 (0015.jp2)
  5. 参考文献 / p9 (0016.jp2)
  6. 第2章 液中作動型AFMの高精度化 / p13 (0020.jp2)
  7. 2.1 緒言 / p13 (0020.jp2)
  8. 2.2 AFMの基本原理 / p14 (0021.jp2)
  9. 2.3 液中型AFM装置の構成 / p19 (0026.jp2)
  10. 2.4 外部モニター法による補正 / p22 (0029.jp2)
  11. 2.5 その場自律校正法による補正 / p24 (0031.jp2)
  12. 2.6 測定結果 / p28 (0035.jp2)
  13. 2.7 結言 / p35 (0042.jp2)
  14. 参考文献 / p36 (0043.jp2)
  15. 第3章 その場自律校正法の適用による市販SFMの高精度化 / p37 (0044.jp2)
  16. 3.1 緒言 / p37 (0044.jp2)
  17. 3.2 校正対象 / p38 (0045.jp2)
  18. 3.3 校正原理 / p41 (0048.jp2)
  19. 3.4 実験結果及び考察 / p46 (0053.jp2)
  20. 3.5 結言 / p55 (0062.jp2)
  21. 参考文献 / p55 (0062.jp2)
  22. 第4章 計測加工一体型SFM装置の開発 / p57 (0064.jp2)
  23. 4.1 緒言 / p57 (0064.jp2)
  24. 4.2 プローブの設計 / p58 (0065.jp2)
  25. 4.3 信号処理システムの設計 / p65 (0072.jp2)
  26. 4.4 プローブの特性 / p65 (0072.jp2)
  27. 4.5 形状測定および加工実験 / p69 (0076.jp2)
  28. 4.6 結論 / p85 (0092.jp2)
  29. 参考文献 / p86 (0093.jp2)
  30. 第5章 加工面微細欠陥のその場観察機能を有するSFMシステムの開発 / p87 (0094.jp2)
  31. 5.1 緒言 / p87 (0094.jp2)
  32. 5.2 装置の概要 / p88 (0095.jp2)
  33. 5.3 装置の特性 / p90 (0097.jp2)
  34. 5.4 実験結果 / p96 (0103.jp2)
  35. 5.5 結言 / p105 (0112.jp2)
  36. 参考文献 / p106 (0113.jp2)
  37. 第6章 ナノインプロセス計測加工のための多目的SFMの開発 / p107 (0114.jp2)
  38. 6.1 緒言 / p107 (0114.jp2)
  39. 6.2 SFMによるインプロセス計測加工装置の概要 / p108 (0115.jp2)
  40. 6.3 大気中でのインプロセス計測加工実験 / p116 (0123.jp2)
  41. 6.4 液中でのインプロセス計測加工実験 / p124 (0131.jp2)
  42. 6.5 結言 / p138 (0145.jp2)
  43. 参考文献 / p138 (0145.jp2)
  44. 第7章 結論 / p140 (0147.jp2)
  45. 謝辞 / p143 (0150.jp2)
  46. 付録:本研究と関連する研究論文および口頭発表 / p144 (0151.jp2)
0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000170880
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000171154
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000335194
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ