SFMの高機能化と高精度化に関する研究 SFM 高 機能化 精度化
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Bibliographic Information
- Title
-
SFMの高機能化と高精度化に関する研究
- Other Title
-
SFM 高 機能化 精度化
- Author
-
權賢圭
- Author(Another name)
-
ケン, ケンキユウ
- University
-
東北大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第6861号
- Degree year
-
1999-03-25
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / p1 (0004.jp2)
- 第1章 緒論 / p1 (0008.jp2)
- 1.1 研究の背景と目的 / p1 (0008.jp2)
- 1.2 研究の内容と本論文の構成 / p8 (0015.jp2)
- 参考文献 / p9 (0016.jp2)
- 第2章 液中作動型AFMの高精度化 / p13 (0020.jp2)
- 2.1 緒言 / p13 (0020.jp2)
- 2.2 AFMの基本原理 / p14 (0021.jp2)
- 2.3 液中型AFM装置の構成 / p19 (0026.jp2)
- 2.4 外部モニター法による補正 / p22 (0029.jp2)
- 2.5 その場自律校正法による補正 / p24 (0031.jp2)
- 2.6 測定結果 / p28 (0035.jp2)
- 2.7 結言 / p35 (0042.jp2)
- 参考文献 / p36 (0043.jp2)
- 第3章 その場自律校正法の適用による市販SFMの高精度化 / p37 (0044.jp2)
- 3.1 緒言 / p37 (0044.jp2)
- 3.2 校正対象 / p38 (0045.jp2)
- 3.3 校正原理 / p41 (0048.jp2)
- 3.4 実験結果及び考察 / p46 (0053.jp2)
- 3.5 結言 / p55 (0062.jp2)
- 参考文献 / p55 (0062.jp2)
- 第4章 計測加工一体型SFM装置の開発 / p57 (0064.jp2)
- 4.1 緒言 / p57 (0064.jp2)
- 4.2 プローブの設計 / p58 (0065.jp2)
- 4.3 信号処理システムの設計 / p65 (0072.jp2)
- 4.4 プローブの特性 / p65 (0072.jp2)
- 4.5 形状測定および加工実験 / p69 (0076.jp2)
- 4.6 結論 / p85 (0092.jp2)
- 参考文献 / p86 (0093.jp2)
- 第5章 加工面微細欠陥のその場観察機能を有するSFMシステムの開発 / p87 (0094.jp2)
- 5.1 緒言 / p87 (0094.jp2)
- 5.2 装置の概要 / p88 (0095.jp2)
- 5.3 装置の特性 / p90 (0097.jp2)
- 5.4 実験結果 / p96 (0103.jp2)
- 5.5 結言 / p105 (0112.jp2)
- 参考文献 / p106 (0113.jp2)
- 第6章 ナノインプロセス計測加工のための多目的SFMの開発 / p107 (0114.jp2)
- 6.1 緒言 / p107 (0114.jp2)
- 6.2 SFMによるインプロセス計測加工装置の概要 / p108 (0115.jp2)
- 6.3 大気中でのインプロセス計測加工実験 / p116 (0123.jp2)
- 6.4 液中でのインプロセス計測加工実験 / p124 (0131.jp2)
- 6.5 結言 / p138 (0145.jp2)
- 参考文献 / p138 (0145.jp2)
- 第7章 結論 / p140 (0147.jp2)
- 謝辞 / p143 (0150.jp2)
- 付録:本研究と関連する研究論文および口頭発表 / p144 (0151.jp2)