A study on the silicon accelerometer with wide dynamic range 広ダイナミックレジンのシリコン加速度センサに関する研究

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著者

    • 高, 相春 コ, サンチュン

書誌事項

タイトル

A study on the silicon accelerometer with wide dynamic range

タイトル別名

広ダイナミックレジンのシリコン加速度センサに関する研究

著者名

高, 相春

著者別名

コ, サンチュン

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第6865号

学位授与年月日

1999-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. Table of contents / p1 (0004.jp2)
  2. 1.Introduction / p1 (0007.jp2)
  3. 1.1 Micromachining / p1 (0007.jp2)
  4. 1.2 Accelerometers / p5 (0011.jp2)
  5. 1.3 Motivation and Background / p9 (0015.jp2)
  6. 1.4 Organization of the Thesis / p11 (0017.jp2)
  7. 1.5 References / p12 (0018.jp2)
  8. 2.Theory of Accelerometer / p16 (0022.jp2)
  9. 2.1 Seismometer / p16 (0022.jp2)
  10. 2.2 The static model / p25 (0031.jp2)
  11. 2.3 Dynamic Model / p31 (0037.jp2)
  12. 2.4 Electrical-Mechanical Modeling / p34 (0040.jp2)
  13. 2.5 Refererences / p38 (0044.jp2)
  14. 3.Closed-loop system / p41 (0047.jp2)
  15. 3.1 Basic Theory / p41 (0047.jp2)
  16. 3.2 Servo Accelerometer Design / p44 (0050.jp2)
  17. 3.3 Dynamic Behavior of the Closed-Loop Accelerometer / p46 (0052.jp2)
  18. 3.4 Comparision of Open and Closed-Loop / p48 (0054.jp2)
  19. 3.5 Electrostatic Stability / p51 (0057.jp2)
  20. 3.6 Noise Analysis / p54 (0060.jp2)
  21. 3.7 References / p61 (0067.jp2)
  22. 4.Sensor Design and Fabrication / p65 (0071.jp2)
  23. 4.1 Sensor Design / p65 (0071.jp2)
  24. 4.2 Fabrication Techniques / p69 (0075.jp2)
  25. 4.3 Silicon Process / p80 (0086.jp2)
  26. 4.4 Glass process / p83 (0089.jp2)
  27. 4.5 Sensor Packaging / p85 (0091.jp2)
  28. 4.6 References / p89 (0095.jp2)
  29. 5.Measurement and Results / p91 (0097.jp2)
  30. 5.1 Calibration Techniques / p91 (0097.jp2)
  31. 5.2 The Characteristics of the Open-loop Accelerometer / p95 (0101.jp2)
  32. 5.3 The Characteristics of the Servo-Accelerometer / p101 (0107.jp2)
  33. 5.4 References / p109 (0115.jp2)
  34. 6.Conclusions / p110 (0116.jp2)
  35. 6.1 Summary / p110 (0116.jp2)
  36. 6.2 Future Research / p111 (0117.jp2)
  37. Acknowledgements / p112 (0118.jp2)
  38. List of publications and presentations / p113 (0119.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000170884
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000171158
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000335198
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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